[发明专利]一种彩膜基板及其制作方法在审
申请号: | 201710755807.X | 申请日: | 2017-08-29 |
公开(公告)号: | CN107621720A | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 李世春;张创优 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G02F1/1339;G02F1/1333 |
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地址: | 210033 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 彩膜基板 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明涉及液晶显示器技术领域,特别涉及一种装配在液晶显示面板上的彩膜基板。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)凭借其功耗低、制造成本相对比较低和无辐射等特点,已经成为平板显示领域的主流技术。TFT-LCD由彩膜基板和阵列基板对盒而成,彩膜基板主要是将背光源过滤为红、绿和蓝三原色光,实现不同的色彩显示。
边缘场开关(Fringe Filed Switching,FFS)型TFT-LCD的广视角技术由于在大尺寸、高清晰度桌面显示器和液晶电视上的应用,而受到越来越多的关注。FFS技术通过同一平面内像素间电极产生边缘电场,使电极间以及电极正上方的取向液晶分子都能在(平行基板)平面方向发生旋转转换,从而提高液晶层的透光效率。因此,彩膜基板的平整度需要达到更高的标准。现有技术制备的彩膜基板的剖面图如图1所示,其包括衬底基板100、形成于衬底基板100上的黑色矩阵101、分布在黑色矩阵101中间的彩色滤光层102、覆盖在黑色矩阵101和彩色滤光层102上的平坦层103、形成于平坦层103上的主隔垫物104和副隔垫物105。其中平坦层103为热固化工艺,主隔垫物104、副隔垫物105为光固化和热固化工艺。由于平坦层和隔垫物分开制作,需要两条生产线先后完成,制作时间较长,占用生产资源也较多,成本较高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种新的彩膜基板制作方法,通过新的工艺和材料设计,使得平坦层和隔垫物可通过一道工艺进行制作,节省工序。
为实现上述目的,本发明提供一种彩膜基板的制作方法,包括如下步骤:
S1、在衬底基板上形成黑色矩阵;
S2:在形成S1的基础上形成彩色滤光层;
S3:在形成S2的基础上,覆盖含有交联剂的光阻材料形成的透明层;
S4:对透明层进行预烘烤,同时交联剂促进光阻材料内的丙烯酸树脂进行初步热交联反应;
S5:采用掩膜板对形成S4基础上的透明层进行曝光,显影,形成平坦层、主隔垫物和副隔垫物;
S6:在上述基础上进行高温烘烤,使光阻材料完全稳定固化。
本发明的实施例提供一种彩膜基板及其制作方法,通过在形成黑矩阵以及彩色滤光层的情况下,先形成由含有低温交联剂的光阻材料构成的透明层,预烘烤后进行曝光,由于掩膜版不同区域的透过率不同,显影后,形成所需的平坦层、主隔垫物和副隔垫物。因此,平坦层和隔垫物部一体设计,同时形成,大大节省了工序,且具有很好的强度。
附图说明
图1是现有技术中彩膜基板的剖面图;
图2是本发明实施例的彩膜基板的剖面图;
图3是本发明在黑色矩阵和彩色滤光层上进行光阻涂布后的示意图;
图4是对图3所示的透明层进行预烘烤(低温热交联)的示意图;
图5是对图4所示的被处理后的透明层进行曝光(光反应)的示意图;
图6是对图5曝光后进行显影的示意图;
图7是对图6显影后进行后烘烤(高温热交联)的示意图。
具体实施方式
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对照附图说明本发明的具体实施方式。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图,并获得其他的实施方式。
为使图面简洁,各图中只示意性地表示出了与本发明相关的部分,它们并不代表其作为产品的实际结构。另外,以使图面简洁便于理解,在有些图中具有相同结构或功能的部件,仅示意性地绘示了其中的一个,或仅标出了其中的一个。
图2是本发明彩膜基板实施例的结构示意图,如图2所示,该彩膜基板包括一衬底基板100、形成于衬底基板100上的黑色矩阵101和彩色滤光层102、以及形成于黑色矩阵101和彩色滤光层102上的透明层103,所述透明层由含有交联剂的光阻材料形成,透明层103包括一平坦层104、主隔垫物105和副隔垫物106。
平坦层104覆盖在黑色矩阵101和彩色滤光层102上,主隔垫物105和副隔垫物106位于平坦层104上。平坦层104、主隔垫物105和副隔垫物106一体形成。
其中透明层103所使用的光阻材料添加有低温聚合用的交联剂,此交联剂用于透明层在60~130℃预烘烤时促进丙烯酸树脂进行初步热交联反应。
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