[发明专利]玻璃合成用流体供给装置

权利要求书

1.一种玻璃合成用流体供给装置，其具有：

腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体；以及

流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，

在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，

所述空气式操作阀全部是常闭型，

设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。

2.一种玻璃合成用流体供给装置，其具有：

吹扫气体供给线，其向反应容器供给吹扫气体；以及

流量控制装置，其设置于所述吹扫气体供给线，

在流过所述流量控制装置的所述吹扫气体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述吹扫气体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述吹扫气体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，

所述空气式操作阀全部是常闭型，

设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。

3.根据权利要求2所述的玻璃合成用流体供给装置，其中，

在所述吹扫气体供给线设置有流量节流阀。

4.一种玻璃合成用流体供给装置，其具有：

腐蚀性流体供给线，其供给腐蚀性流体；

吹扫气体供给线，其供给吹扫气体；

汇流线，其是所述吹扫气体供给线和所述腐蚀性流体供给线汇流而成的；

流量控制装置，其设置于所述汇流线；

反应容器线，其从与所述流量控制装置相比下游侧的所述汇流线分支而朝向反应容器；以及

排放气体线，其从与所述流量控制装置相比下游侧的所述汇流线分支而朝向除害装置，

在所述腐蚀性流体供给线、所述吹扫气体供给线、所述反应容器线和所述排放气体线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，

设置于所述吹扫气体供给线的所述空气式操作阀用的电磁阀和设置于所述排放气体线的所述空气式操作阀用的电磁阀是常开型，

设置于所述腐蚀性流体供给线的所述空气式操作阀用的电磁阀和设置于所述反应容器线的所述空气式操作阀用的电磁阀是常闭型，

设置于所述反应容器线的所述空气式操作阀，具有比设置于所述腐蚀性流体供给线的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力，

设置于所述排放气体线的所述空气式操作阀，具有比设置于所述吹扫气体供给线的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。

5.根据权利要求4所述的玻璃合成用流体供给装置，其中，

在所述吹扫气体供给线设置有流量节流阀。