[发明专利]玻璃合成用流体供给装置

说明书

提供一种玻璃合成用流体供给装置，其在从停电等异常时进行恢复供电时等在使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，也能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。具有对反应容器(11)供给腐蚀性流体的腐蚀性流体供给线(L1)和在腐蚀性流体供给线(L1)设置的MFC(15)，在流过MFC(15)的腐蚀性流体的路径中，在比MFC(15)上游侧的腐蚀性流体供给线(L1)和比MFC(15)下游侧的腐蚀性流体供给线(L1)分别设置有通过电磁阀(16a、16c)进行操作的空气式操作阀(17a、17c)，空气式操作阀(17a、17c)全部是常闭型，在比MFC(15)下游侧设置的空气式操作阀(17c)的工作压力高于在比MFC(15)上游侧设置的空气式操作阀(17a)的工作压力。

技术领域

本发明涉及一种玻璃合成用流体供给装置。

背景技术

已知一种玻璃合成用流体供给装置，其将合成玻璃时所使用的腐蚀性流体、吹扫气体供给至玻璃合成装置(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2014－131946号公报

例如，专利文献1中记载的玻璃合成用流体供给装置，在将合成玻璃时所使用的腐蚀性流体、吹扫气体供给至玻璃合成装置的路径中设置有空气式操作阀。空气式操作阀根据所供给的空气压力进行阀的开闭，在空气压力大于或等于工作压力的情况下打开，在空气压力小于工作压力的情况下关闭。该空气式操作阀是常闭型(如果不作用空气压力，则维持关闭状态)。

另外，常闭型的空气式操作阀在所供给的空气压力与工作压力是同等程度的情况下，由于空气式操作阀的个体差异等原因，有可能存在多个空气式操作阀中的仅一部分的常闭型的空气式操作阀成为打开状态。

因此，在所供给的空气压力成为低状态的情况下，一部分的常闭型的空气式操作阀有时不打开。例如，如果与流量控制装置相比设置在下游的空气式操作阀打开、设置于上游的空气式操作阀关闭，则反应容器内、除害装置内的气体有可能向配管上游侧逆流，发生扩散。

另一方面，对空气式操作阀的空气压力的供给是通过在空气压力供给路径中设置的电磁阀的开闭进行控制的。电磁阀的开闭被电气地控制，具有下述类型，即，在停电等没有电源供给的情况下，维持关闭状态的常闭型和维持打开状态的常开型。

通常，在玻璃合成用流体供给装置中，关于在各路径中设置的对空气式操作阀进行控制的电磁阀，适当配置常闭型和常开型，在由于发生停电等异常而电源供给被切断的情况下，使得在流量控制装置前后的配管、流量控制装置中流动吹扫气体。但是，在从停电等异常时恢复供电时，有时使空气式操作阀工作的空气压力成为低于适当范围的状态，此时例如如上述所示，有可能发生反应容器内、除害装置内的气体向配管上游侧逆流、扩散等现象，配管或者流量控制装置的劣化防止变得不充分。

发明内容

本发明的目的在于提供一种玻璃合成用流体供给装置，该玻璃合成用流体供给装置即使在从停电等异常时恢复供电时等、使空气式操作阀工作的空气压力低于适当范围的情况下，也能够抑制配管或者流量控制装置的劣化。

本发明的一个方式所涉及的玻璃合成用流体供给装置，其具有：

腐蚀性流体供给线，其向反应容器供给腐蚀性流体；以及

流量控制装置，其设置于所述腐蚀性流体供给线，

在流过所述流量控制装置的所述腐蚀性流体的路径中，在与所述流量控制装置相比上游侧的所述腐蚀性流体供给线和与所述流量控制装置相比下游侧的所述腐蚀性流体供给线，分别设置有通过电磁阀进行操作的空气式操作阀，

所述空气式操作阀全部是常闭型，

设置在与所述流量控制装置相比下游侧的所述空气式操作阀，具有比设置在与所述流量控制装置相比上游侧的所述空气式操作阀的工作压力高的工作压力。