[发明专利]吸引保持系统

权利要求书

1.一种吸引保持系统，其对物体的平面进行吸引保持，其中，

该吸引保持系统至少由以下部分构成：

卡盘工作台，其由吸引板和框体构成，该吸引板由多孔陶瓷形成并具有通气孔，该框体对该吸引板的除了吸附面之外的侧面和背面的整体进行覆盖，通过将与该吸附面为相同形状的物体载置在该吸附面上，该吸引板被完全封闭在该框体内；

连通路，其将形成在该吸引板的背面与该框体之间的空间和外部连通；以及

吸引源，其与该连通路连接，

该多孔陶瓷的气孔率按照体积比为60％～70％，

该通气孔的大小为φ10μm～25μm，

对吸引源的吸引力进行设定，以使得当在该吸引板的吸附面上什么都不载置的状态下使该吸引源进行动作时，该连通路的压力的值成为0.3大气压以上0.6大气压以下。