[发明专利]一种扫描系统

权利要求书

1.一种扫描系统，其特征在于，包括：至少一个探针、至少一个扫描驱动装置和一个旋转装置，所述探针的个数与所述扫描驱动装置的个数相同，一个所述扫描驱动装置上安装有一个所述探针；

所述旋转装置，在扫描时带动被测样品旋转；

所述扫描驱动装置，控制安装在所述扫描驱动装置上的所述探针对所述被测样品进行扫描；

所述探针，对所述被测样品进行扫描，在一个扫描周期中，所述探针位置不变，所述一个扫描周期是扫描一个圆周所用的扫描的时间。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述扫描驱动装置和所述探针都只有一个；

所述扫描驱动装置，控制安装在所述扫描驱动装置上的所述探针，在第一位置处对所述被测样品进行扫描，完成一个所述扫描周期后，所述扫描驱动装置控制所述探针从所述第一位置移动至第二位置，所述第一位置与所述第二位置与所述被测样品的中心的距离不同。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，

所述扫描驱动装置控制所述探针从所述第一位置移动至所述第二位置后，所述扫描驱动装置控制所述探针的扫描频率由第一频率切换至第二频率，所述扫描频率与探心距离成正比，所述探心距离是所述探针所在位置与所述被测样品中心之间的距离。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述扫描驱动装置和所述探针都为至少两个，所述至少两个所述扫描驱动装置和至少两个所述探针组成一个扫描阵列；

所述扫描阵列中的每个探针的探心距离各不相同。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，

所述扫描阵列中，所述扫描驱动装置控制所述探针的扫描频率，与所述探针的所述探心距离成正比。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，

所述扫描阵列完成一个所述扫描周期后，所述扫描阵列中的所述驱动装置控制所述扫描阵列从第三位置移动至第四位置；

所述每个探针在所述扫描阵列移动前的探心距离，与在所述扫描阵列移动后的探心距离不同。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，

所述扫描阵列从第三位置移动至第四位置后，每个所述探针的移动的距离，小于所述扫描阵列中两个所述探针之间的距离。

8.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述扫描系统包括多组所述扫描阵列；

所述多组扫描阵列中，每个探针与所述被测样品的中心的距离都不同。

9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述扫描驱动装置包括：

悬臂和压电模块；

所述悬臂的一端连接所述探针，所述悬臂的另一端连接所述压电模块；

所述压电模块，控制与所述压电模块相连的，所述悬臂上安装的所述探针进行扫描。

10.根据权利要求1-9所述的系统，其特征在于，还包括：激光器和位置检测器；

所述激光器，用于将激光输出至所述悬臂上；

所述位置检测器，用于接收所述悬臂反射的激光，根据所述激光检测所述探针的位置。

11.根据权利要求1-9所述的系统，其特征在于，还包括：旋转信息记录器；

所述旋转信息记录器用于记录所述旋转装置的所述扫描周期。