[发明专利]一种扫描系统

说明书

技术领域

本发明涉及材料领域，尤其涉及一种扫描系统。

背景技术

目前在材料领域，常采用原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)对被测样品的表面结构进行扫描，并且由于通过AFM扫描，能够获取到高分辨率的表面结构，因此，AFM常用于对精密材料进行扫描。例如，在制造芯片的过程中，常采用AFM对芯片表面进行扫描，进而获取到高分辨率的芯片表面结构。

现有技术中，AFM系统采用单探针，采用逐行断点的扫描方式，对被测样品的表面进行扫描。以这种逐行断点的扫描方式对被测样品进行扫描时，得到的扫描轨迹一般为直线，适用于对方形被测样品进行扫描。

而采用上述扫描方式不适用于对圆形被测样品进行扫描，该扫描方式只能获得直线扫描轨迹，往往会由于缺失对被测样品圆周上某些点的扫描，而导致扫描结果不够准确，不能满足扫描所需的精度要求。

发明内容

为了解决现有技术中存在的以上技术问题，本发明实施例提供一种扫描系统，能够较为准确地获取到圆形被测样品的扫描结果。

本发明提供了一种扫描系统，包括：至少一个探针、至少一个扫描驱动装置和一个旋转装置，所述探针的个数与所述扫描驱动装置的个数相同，一个所述扫描驱动装置上安装有一个所述探针；

所述旋转装置，在扫描时带动被测样品旋转；

所述扫描驱动装置，控制安装在所述扫描驱动装置上的所述探针对所述被测样品进行扫描；

所述探针，对所述被测样品进行扫描，在一个扫描周期中，所述探针位置不变，所述一个扫描周期是扫描一个圆周所用的扫描的时间。

可选的，所述扫描驱动装置和所述探针都只有一个；

所述扫描驱动装置，控制安装在所述扫描驱动装置上的所述探针，在第一位置处对所述被测样品进行扫描，完成一个所述扫描周期后，所述扫描驱动装置控制所述探针从所述第一位置移动至第二位置，所述第一位置与所述第二位置与所述被测样品的中心的距离不同。

可选的，所述扫描驱动装置控制所述探针从所述第一位置移动至所述第二位置后，所述扫描驱动装置控制所述探针的扫描频率由第一频率切换至第二频率，所述扫描频率与探心距离成正比，所述探心距离是所述探针所在位置与所述被测样品中心之间的距离。

可选的，所述扫描驱动装置和所述探针都为至少两个，所述至少两个所述扫描驱动装置和至少两个所述探针组成一个扫描阵列；

所述扫描阵列中的每个探针的探心距离各不相同。

可选的，所述扫描阵列中，所述扫描驱动装置控制所述探针的扫描频率，与所述探针的所述探心距离成正比。

可选的，所述扫描阵列完成一个所述扫描周期后，所述扫描阵列中的所述驱动装置控制所述扫描阵列从第三位置移动至第四位置；

所述每个探针在所述扫描阵列移动前的探心距离，与在所述扫描阵列移动后的探心距离不同。

可选的，所述扫描阵列从第三位置移动至第四位置后，每个所述探针的移动的距离，小于所述扫描阵列中两个所述探针之间的距离。

可选的，所述扫描系统包括多组所述扫描阵列；

所述多组扫描阵列中，每个探针与所述被测样品的中心的距离都不同。

可选的，所述扫描驱动装置包括：

悬臂和压电模块；

所述悬臂的一端连接所述探针，所述悬臂的另一端连接所述压电模块；

所述压电模块，控制与所述压电模块相连的，所述悬臂上安装的所述探针进行扫描。

可选的，所述扫描系统还包括：激光器和位置检测器；

所述激光器，用于将激光输出至所述悬臂上；

所述位置检测器，用于接收所述悬臂反射的激光，根据所述激光检测所述探针的位置。

可选的，所述扫描系统还包括：旋转信息记录器；

所述旋转信息记录器用于记录所述旋转装置的所述扫描周期。

与现有技术相比，本发明至少具有以下优点：