[发明专利]一种柔性薄膜晶体管及其制备方法

说明书

本发明公开了一种柔性薄膜晶体管及其制备方法。该柔性薄膜晶体管包括：基板；有源层，形成在基板上方；栅极，形成在有源层上方；以及有机绝缘层，形成在栅极上方。本发明减小了层间介电层的应力，降低了层间介电层的整体厚度，进而提升柔性显示屏的可弯折程度。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性薄膜晶体管(Thin FilmTransistor，TFT)及其制备方法。

背景技术

随着柔性显示技术的发展，显示屏已经可以制作成可弯曲、可折叠、可卷起的形式。可变型、可弯折的柔性显示屏能够给用户带来颠覆性的使用体验。但目前的柔性显示技术还不够成熟，可弯折仍是技术难点。这是因为柔性显示屏的像素区的无机绝缘层较多，且无机绝缘层的厚度较厚，使得在柔性显示屏发生形变时会产生较大应力，直接影响了柔性显示屏的可弯折程度，进而造成显示不良。

图1是现有技术的薄膜晶体管的结构示意图。如图1所示，该薄膜晶体管包括：基板100、形成在基板100上的缓冲层101、形成在缓冲层101上的有源层102、形成在缓冲层101上且与有源层102电连接的源极108和漏极109、形成在有源层102上的栅极绝缘层103、形成在栅极绝缘层103上的栅极104、形成在栅极104上的电容绝缘层105、以及依次形成在电容绝缘层105上的第一层间介电层106和第二层间介电层107。栅极绝缘层103和电容绝缘层105的厚度分别为120nm，第一层间介电层106和第二层间介电层107的整体厚度约为500nm。

由于现有技术中第一层间介电层106和第二层间介电层107主要用于层间绝缘，且二者的整体厚度比其他绝缘层的厚度更厚，因此，在一定程度上影响了薄膜晶体管的可弯折程度。另外，栅极绝缘层103、电容绝缘层105、第一层间介电层106和第二层间介电层107均为无机绝缘层，其材料为弹性和柔韧性相对差的无机材料，因此，在一定程度上也影响了薄膜晶体管的可弯折程度。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种柔性薄膜晶体管及其制备方法，用于提升柔性显示屏的可弯折程度。

本发明的一个方面提供一种柔性薄膜晶体管，包括：基板；有源层，形成在基板上方；栅极，形成在有源层上方；以及有机绝缘层，形成在栅极上方。

在本发明的一个实施例中，该柔性薄膜晶体管还包括：无机绝缘层，形成在有机绝缘层上。

在本发明的一个实施例中，有机绝缘层的材料为有机胶或聚酰亚胺。

在本发明的一个实施例中，有机绝缘层还掺杂有无机材料。

在本发明的一个实施例中，无机绝缘层的厚度在45nm至55nm范围内。

在本发明的一个实施例中，无机绝缘层的厚度为50nm。

在本发明的一个实施例中，有机绝缘层的厚度在300nm至450nm范围内。

在本发明的一个实施例中，有机绝缘层的厚度为350nm。

在本发明的一个实施例中，该柔性薄膜晶体管还包括：缓冲层，形成在基板与有源层之间；栅极绝缘层，形成在有源层与栅极之间；以及电容绝缘层，形成在栅极与有机绝缘层之间。

本发明的另一个方面提供一种柔性薄膜晶体管的制备方法，包括：在基板上方形成有源层；在有源层上方形成栅极；以及在栅极上方形成有机绝缘层。

在本发明的一个实施例中，该柔性薄膜晶体管的制备方法还包括：在有机绝缘层上形成无机绝缘层。

根据本发明实施例提供的技术方案，通过采用有机绝缘层替代现有技术的层间介电层，减小了层间介电层的应力，降低了层间介电层的整体厚度，进而提升了柔性显示屏的可弯折程度。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。