[发明专利]显示装置及其制造方法有效
申请号: | 201710778238.0 | 申请日: | 2017-09-01 |
公开(公告)号: | CN107799535B | 公开(公告)日: | 2023-09-12 |
发明(设计)人: | 金宰范;金亿洙;孙暻锡;林俊亨;林志勋 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H10K59/12;H10K59/121;G09G3/3225 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘灿强;田野 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种显示装置,所述显示装置包括:
基体基底;
第一晶体管,位于所述基体基底上方,并包括第一输入电极、第一输出电极、位于第一绝缘层下方的第一半导体图案以及位于所述第一绝缘层上方并位于第二绝缘层下方的第一控制电极;
第二晶体管,位于所述基体基底上方,并包括第二输入电极、第二输出电极、位于所述第一绝缘层上方并位于所述第二绝缘层下方的第二控制电极以及位于所述第二绝缘层上方的第二半导体图案;
至少一个第三绝缘层,位于所述第二绝缘层上方;
发光二极管,位于所述至少一个第三绝缘层上方;以及
电容器,电连接到所述第一晶体管和所述第二晶体管中的至少一个,
其中,所述第一半导体图案包括多晶硅半导体,并且所述第二半导体图案包括氧化物半导体,并且
其中,所述第一晶体管通过所述第一输出电极电连接到所述发光二极管,并控制供应到所述发光二极管的驱动电流。
2.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述氧化物半导体包括垂直晶体。
3.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第二输入电极和所述第二输出电极中的每个包括:
下部,与所述第二半导体图案直接接触;以及
上部,设置在所述至少一个第三绝缘层上,并经由穿透所述至少一个第三绝缘层的第一接触孔连接到所述下部。
4.根据权利要求3所述的显示装置,其中,所述第一输入电极和所述第一输出电极中的每个设置在所述至少一个第三绝缘层上,并且经由穿透所述第一绝缘层、所述第二绝缘层和所述至少一个第三绝缘层的第二接触孔连接到所述第一半导体图案。
5.根据权利要求3所述的显示装置,其中,所述电容器包括:
第一电极,与所述第一控制电极设置在同一层上;以及
第二电极,与所述下部设置在同一层上,
其中,所述第二绝缘层设置在所述第一电极与所述第二电极之间。
6.根据权利要求5所述的显示装置,所述显示装置还包括设置在所述第二电极与所述第二绝缘层之间的虚设半导体图案。
7.根据权利要求6所述的显示装置,其中,所述虚设半导体图案和所述第二半导体图案包括相同的半导体材料。
8.根据权利要求3所述的显示装置,其中,所述第二输入电极的下部和所述第二输出电极的下部在所述第二半导体图案上沿第一方向彼此间隔开,并且所述第二输入电极的下部和所述第二输出电极的下部与所述第二半导体图案的上表面和侧表面直接接触。
9.根据权利要求3所述的显示装置,其中,所述第二输入电极的下部的第一外表面基本上与所述第二半导体图案的第一外表面对齐;
所述第二输出电极的下部的第二外表面基本上与所述第二半导体图案的第二外表面对齐。
10.根据权利要求3所述的显示装置,所述显示装置还包括与所述第一控制电极叠置并设置在所述第二绝缘层上的导电图案。
11.根据权利要求10所述的显示装置,其中,所述导电图案连接到所述电容器的第一电极和第二电极中的一个。
12.根据权利要求10所述的显示装置,所述显示装置还包括设置在所述导电图案与所述第二绝缘层之间的虚设半导体图案。
13.根据权利要求12所述的显示装置,其中,所述虚设半导体图案与所述第二半导体图案包括相同的半导体材料。
14.根据权利要求12所述的显示装置,其中,所述第二半导体图案的与所述下部叠置的部分掺杂有掺杂剂,并且所述虚设半导体图案掺杂有与所述第二半导体图案的所述部分相同的掺杂剂。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的