[发明专利]光扫描装置以及光扫描装置的制造方法

权利要求书

1.一种光扫描装置，其特征在于，

具备：

具有光反射面的反射镜；

支撑上述反射镜的可动框；

从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁；

设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源；以及

支撑上述驱动梁的固定框，

上述驱动源具备：

形成在上述驱动梁上的下部电极；

形成在上述下部电极上的压电薄膜；

形成在上述压电薄膜上的上部电极；以及

形成于上述上部电极或上述压电薄膜与上述上部电极之间，并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜，

在上述反射镜静止的状态下，上述驱动梁以相对于上述固定框挠曲的状态被支撑，

在上述驱动梁的下面形成肋，

上述反应力膜通过产生压缩应力而使上述驱动梁在配置了上述肋的上述驱动梁的下面的方向上挠曲。

2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

上述驱动梁以向与在上述光扫描装置进行动作时弯曲的方向相反的方向挠曲的状态被支撑。

3.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

在上述驱动梁与上述可动框的连结部分下面以及连结相邻的上述驱动梁彼此的部分的下面设置肋。

4.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

上述反应力膜由导电性材料形成。

5.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

上述反应力膜由钛以及钨的合金形成。

6.一种光扫描装置的制造方法，该光扫描装置具备具有光反射面的反射镜、支撑上述反射镜的可动框、从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁、设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源以及支撑上述驱动梁的固定框，该光扫描装置的制造方法的特征在于，

具备下述工序：

在上述驱动梁上形成下部电极的工序；

在上述下部电极上形成压电薄膜的工序；

在上述压电薄膜上形成上部电极的工序；以及

在上述上部电极上通过DC喷镀法形成在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜的工序，

在上述反射镜静止的状态下，上述驱动梁以相对于上述固定框挠曲的状态被支撑，

在上述驱动梁的下面形成肋，

上述反应力膜通过产生压缩应力而使上述驱动梁在配置了上述肋的上述驱动梁的下面的方向上挠曲。