[发明专利]光扫描装置以及光扫描装置的制造方法

说明书

本发明提供一种光扫描装置以及光扫描装置的制造方法，能够减少光扫描装置的破损、材料疲劳。一实施方式的光扫描装置具备具有光反射面的反射镜、支撑上述反射镜的可动框、从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁、设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源、支撑上述驱动梁的固定框，上述驱动源具备形成在上述驱动梁上的下部电极、形成在上述下部电极上的压电薄膜、形成在上述压电薄膜上的上部电极、形成在上述上部电极上或上述压电薄膜与上述上部电极之间并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜。

技术领域

本发明涉及光扫描装置以及光扫描装置的制造方法。

背景技术

一直以来，所熟知具备具有反射入射光的光反射面的可动板、可旋转地轴支撑可动板的扭力梁、在扭力梁上作用扭转方向的力的驱动源的光扫描装置(例如，参照专利文献1)。在该光扫描装置中，为了抑制转动时的光反射面的歪曲，在包括可动板与扭力梁的连接部分附近的下面形成肋。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2010-128116号公报

可是，在上述专利文献1中记载的光扫描装置中存在应力集中在肋附近而容易产生破损的这种问题。另外，即使没有达到破损的程度，由于在肋附近反复施加应力，存在产生材料疲劳而引起性能劣化的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述方面的发明，其目的在于减少光扫描装置的破损、材料疲劳。

为了实现上述目的，涉及本发明一方案的光扫描装置1000具备具有光反射面的反射镜110、支撑上述反射镜110的可动框160、从两侧支撑上述可动框160的一对驱动梁170A、170B、设置于上述驱动梁170A、170B并使上述可动框160绕预定的轴摆动的驱动源171A、171B、支撑上述驱动梁170A、170B的固定框180，上述驱动源171A、171B具备形成在上述驱动梁170A、170B上的下部电极3、形成在上述下部电极3的压电薄膜4、6、形成在上述压电薄膜4、6上的上部电极7、形成在上述上部电极7上或上述压电薄膜4、6与上述上部电极7之间并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜8。

并且，上述参照符号是为了容易理解而标注的符号，只不过是一个例子，不限定于图示的方式。

本发明的效果如下。

根据所公开的技术能够减少光扫描装置的破损、材料疲劳。

附图说明

图1是表示涉及第一实施方式的光扫描装置一例的立体图(1)。

图2是表示涉及第一实施方式的光扫描装置一例的立体图(2)。

图3是表示涉及第一实施方式的光扫描装置的光扫描部的一例的上面侧的立体图。

图4是表示涉及第一实施方式的光扫描装置的光扫描部的一例的下面侧的立体图。

图5是用于说明图4中肋附近的应力的图。

图6是用于说明第二驱动梁的上弯度的图。

图7是表示涉及第一实施方式的光扫描装置的光扫描部的其他示例的上面侧的立体图。

图8是含有图4中肋的区域的局部剖视图。

图9是表示涉及第二实施方式的光扫描装置的光扫描部的一例的上面侧的立体图。

图10是涉及实施例的光扫描装置的动作前后中的肋附近的SEM图像。

图11是涉及比较例的光扫描装置的动作前后中的肋附近的SEM图像。