[发明专利]一种前级真空系统以及抽真空控制方法

权利要求书

1.一种抽真空控制方法，用于前级真空系统，所述前级真空系统，包括：

主干路管道；

真空泵，所述真空泵连接于所述主干路管道，以对所述主干路管道抽真空；

支路管道，所述支路管道为至少一路，各路所述支路管道分别通过各自的安全阀连接于所述主干路管道，并且，各路所述支路管道分别连接至各个真空应用系统；

真空规，所述真空规为至少两个，分别安装于所述主干路管道以及各路所述支路管道中，以分别监测所述主干路管道和各路所述支路管道内的气压值；以及，

控制机，所述控制机连接至每个所述真空规、每个所述安全阀，以获取所述主干路管道和各路所述支路管道内的气压值，并根据所述主干路管道和各路所述支路管道内的气压值控制每个所述安全阀，以在不影响其它真空应用系统的情况下对指定的真空应用系统抽真空；

所述方法包括：

利用所述真空泵对主干路管道抽真空至设定气压值；

检测待抽真空的真空应用系统的支路管道中的气压值；

若待抽真空的真空应用系统的支路管道中的气压值低于第一气压阈值，则直接打开该支路管道的安全阀以通过所述主干路管道对该真空应用系统抽真空，否则，先关闭其它真空应用系统的支路管道的安全阀，再打开该支路管道的安全阀以通过所述主干路管道对该真空应用系统抽真空。

2.根据权利要求1所述的抽真空控制方法，其特征在于，所述真空泵与主干路管道之间通过双波纹管连接。

3.根据权利要求1所述的抽真空控制方法，其特征在于，所述真空泵为高抽速真空泵。

4.根据权利要求1所述的抽真空控制方法，其特征在于，所述支路管道与真空应用系统之间通过双波纹管连接。

5.根据权利要求1至4任一项所述的抽真空控制方法，其特征在于：

在待抽真空的真空应用系统的支路管道中的气压值不低于第一气压阈值的情况下，在关闭其它真空应用系统的支路管道的安全阀之前：

记录其它真空应用系统的支路管道的安全阀的开关状态。

6.根据权利要求5所述的抽真空控制方法，其特征在于：

当该真空应用系统的支路管道中的气压值达到设定气压值后，恢复其它真空应用系统的支路管道的安全阀在该真空应用系统抽真空之前的开关状态。

7.根据权利要求1至4任一项所述的抽真空控制方法，其特征在于，在通过所述主干路管道对该真空应用系统抽真空的过程中：

若在抽真空开始后的第一设定时间长度内，该真空应用系统的气压值与初始气压值相比，下降幅度未达到设定比例，则关闭该支路管道的安全阀，并提示用户该真空应用系统可能存在漏气情况。

8.根据权利要求1至4任一项所述的抽真空控制方法，其特征在于，在通过所述主干路管道对该真空应用系统抽真空的过程中：

若在抽真空开始后的第一设定时间长度内，该真空应用系统的气压值未下降至第二气压阈值，则关闭该支路管道的安全阀，并提示用户该真空应用系统可能存在漏气情况。

9.根据权利要求1至4任一项所述的抽真空控制方法，其特征在于：

在打开该支路管道的安全阀以通过所述主干路管道对该真空应用系统抽真空的过程中：

若所述主干路管道的气压值上至第三气压阈值，且保持其气压值不低于第三气压阈值的持续时间达到第二设定时间长度，则关闭该支路管道的安全阀，并在等待所述主干路管道的气压值恢复至第三气压阈值以下后，提示用户该真空应用系统存在漏气情况。

10.根据权利要求6所述的抽真空控制方法，其特征在于，在其它真空应用系统的支路管道的安全阀关闭期间：

若处于关闭状态的安全阀所属的支路管道气压值上升至警戒气压值，则提示用户该处于关闭状态的安全阀所属的支路管道及其真空应用系统可能存在漏气情况；

在恢复其它真空应用系统的支路管道的安全阀在该真空应用系统抽真空之前的开关状态时，保持可能存在漏气情况的支路管道的安全阀的关闭状态。