[发明专利]一种前级真空系统以及抽真空控制方法

说明书

本发明公开了一种前级真空系统以及抽真空控制方法。本发明中，仅采用一个前级真空泵通过主干路管道向各个分支管道及真空应用系统进行抽真空。与现有技术相比，仅需要一台前级真空泵即可完成对多路真空应用系统的前级抽真空操作，降低了成本，同时，因为通过管道连接，真空泵可以放到距离各个真空应用系统十几米至几十米远处，进而减少了空间占用，减轻了工作噪音，另外，在真空泵与管道以及管道与真空应用系统的连接处加装双波纹管，进而大幅降低从真空泵传递到真空应用系统的震动，本发明实施例中采用的总控制机柜连接中转站、中转站连接临近的子系统及下一个中转站的分层次布线方式使得线路简洁。

技术领域

本发明涉及真空领域，特别涉及一种大型真空互联系统中的前级真空系统以及抽真空控制方法。

背景技术

每一个独立的真空系统都需要配备对应的前级真空装置。而大型真空互联系统是由十几乃至几十个相对独立的真空系统通过阀门连接起来。如果采用传统做法，那么将需要十几乃至几十个前级真空无油干泵，这样的做法有如下缺点：

(1)数量众多的干泵使得初期投入成本巨大，后期能耗高；

(2)无油干泵的工作原理是利用密封圈相对运动压缩排气，使得其维护周期基本上是半年小维护，一年大维护，数量众多的干泵导致后期维护成本巨大；

(3)每一个无油干泵需要摆放在与之对应的真空系统附近，增加总占地面积；

(4)数量众多的无油干泵导致噪音巨大，使得工作环境非常嘈杂；

(5)数量众多的无油干泵同时工作的震动大，对附近的测试分析系统(尤其是光学仪器)影响大；

(6)普通无油干泵的极限真空只能到10^-3mbar(毫巴)；

(7)在需要中央控制系统的前提下，传统的布线方式是从控制机柜直接连接线路到各个子真空系统，例如一个子系统最基本需要两条控制供电线和两条信号线，那么从控制机柜需要连出来该4条线的十几倍乃至几十倍之多，导致线路非常杂乱难以维护。

在大型真空互联系统中需要采用适当的软连接来分割各个功能模块，实现消除应力、隔离真空等目的。其中金属波纹管，特别是激光焊接超薄波纹管因其柔软、变形量大，真空密封性能优异而大量采用，满足大部分的常规需求。然而，正因为其柔软的特性，焊接波纹管在真空系统互连的时候会受到大气压力的挤压，特别是对于大口径的真空法兰。举例来说，对于口径150mm的法兰口会受到176公斤的压力。一方面会造成被连接系统的位移，另外一方面会使得减震效果大打折扣，难以满足大型真空互联系统的要求。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种前级真空系统以及抽真空控制方法，以节省投入、降低能耗、减少污染、提高效率，以克服现有技术中的上述各项缺点。

本发明的技术方案是这样实现的：

一种前级真空系统，包括：

主干路管道；

真空泵，所述真空泵连接于所述主干路管道，以对所述主干路管道抽真空；

支路管道，所述支路管道为至少一路，各路所述支路管道分别通过各自的安全阀连接于所述主干路管道，并且，各路所述支路管道分别连接至各个真空应用系统；

真空规，所述真空规为至少两个，分别安装于所述主干路管道以及各路所述支路管道中，以分别监测所述主干路管道和各路所述支路管道内的气压值；以及，

控制机，所述控制机连接至每个所述真空规、每个所述安全阀，以获取所述主干路管道和各路所述支路管道内的气压值，并根据所述主干路管道和各路所述支路管道内的气压值控制每个所述安全阀，以在不影响其它真空应用系统的情况下对指定的真空应用系统抽真空。