[发明专利]一种边缘曝光装置及边缘曝光方法

权利要求书

1.一种边缘曝光装置，其特征在于，所述边缘曝光装置设置于显影装置的入口区，所述边缘曝光装置包括驱动器，遮光板以及曝光灯，所述驱动器分别与设置在所述显影装置入口外的基板传送装置以及所述遮光板相连接，所述曝光灯位于所述遮光板的上方；

所述驱动器用于在检测到所述基板传送装置移动时，根据传送的基板类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，通过所述曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光。

2.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述边缘曝光装置还包括灯罩，所述灯罩设于所述曝光灯的上方；所述灯罩的内表面至少部分设置有反射镜。

3.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述曝光装置还包括开关，所述开关分别与所述驱动器以及所述遮光板连接，所述曝光装置通过控制所述开关的通/断，控制所述遮光板的透光区域。

4.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述驱动器具体用于在检测到所述基板传送装置移动时，根据传送的基板的尺寸大小或/和功能类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，以对所述基板的预设边缘区域进行曝光。

5.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述驱动器为伺服马达。

6.根据权利要求1所述的边缘曝光装置，其特征在于，所述曝光灯为紫外光灯源。

7.一种边缘曝光方法，其特征在于，包括：

边缘曝光装置通过驱动器采集设置在显影装置入口外的基板传送装置移动时发送的触发信号；其中，所述边缘曝光装置设置于所述显影装置的入口区；

获取所述传送装置当前传送的基板的类型；

根据所述基板的类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光。

8.根据权利要求7所述的边缘曝光方法，其特征在于，所述根据所述基板的类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光的步骤具体包括：

根据所述基板的类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积；

通过曝光灯发出的光以及，设置在所述曝光灯的灯罩上的反射镜反射的光对所述基板的预设边缘区域进行曝光；其中，所述反射镜设置在所述灯罩的至少部分内表面。

9.根据权利要求7所述的边缘曝光方法，其特征在于，所述基板的类型包括基板的尺寸大小或功能类型中的至少一种。

10.根据权利要求7所述的边缘曝光方法，其特征在于，所述根据所述基板的类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光的步骤之后还包括：

通过设置在显影装置入口外的基板传送装置关闭移动时发送的触发信号，根据所述触发信号关闭遮光板。