[发明专利]一种柔性多层透明导电氧化物薄膜在审
| 申请号： | 201710796096.0 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107425124A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 杨勇;李刚;姚婷婷;金克武;沈洪雪;王天齐;彭赛奥;甘治平 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院 |
| 主分类号： | H01L51/44 | 分类号： | H01L51/44;H01L51/52 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 多层 透明 导电 氧化物 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性多层透明导电氧化物薄膜，其特征在于，包括由下至上依次设置在柔性基底的下SiO2膜层、Ag膜层与上SiO2膜层，所述上、下SiO2膜层的厚度均为15～60nm，所述Ag膜层的厚度为6～20nm。
2.根据权利要求1所述的一种柔性多层透明导电氧化物薄膜，其特征在于，所述柔性基底为聚乙烯醇薄膜、聚酰亚胺薄膜或聚酯薄膜。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
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