[发明专利]干涉仪及其成像方法

权利要求书

1.一种具解调功能的干涉仪，适于检测一待测样品，该干涉仪包括：

光源，提供一光束；

分光元件，接收该光源所发出的光束，并将该光束分成第一入射光及第二入射光，其中该第一入射光入射至该待测样品并反射成第一反射光；

反射元件，接收该第二入射光并反射成第二反射光；

光检测元件，接收该第一反射光与该第二反射光，以产生一干涉信号；以及

信号处理模块，耦接至该光检测元件，该信号处理模块接收该干涉信号并对该干涉信号进行空间微分处理，以得到该待测样品的解调图像，

其中，该信号处理模块计算而得该解调图像，I为该干涉信号，I′为对该干涉信号进行一阶空间微分而得，I″对该干涉信号进行二阶空间微分而得，I″′为对该干涉信号进行三阶空间微分而得，C为常数，其中，

如果该干涉信号包括x方向变化，则该信号处理模块对该干涉信号进行x微分；

如果该干涉信号包括y方向变化，则该信号处理模块对该干涉信号进行y微分；或者

如果该干涉信号包括x方向变化与y方向变化，则该信号处理模块对该干涉信号进行x微分与y微分。

2.如权利要求1所述的干涉仪，其中该光检测元件为一图像传感器。

3.如权利要求1所述的干涉仪，其中该光检测元件为感光耦合元件或互补式金属氧化物半导体图像传感器。

4.如权利要求1所述的干涉仪，还包括：

步进平移台，用以步阶式移动该反射元件，以调整一待测端路径与一参考端路径之间的光程差，而得到该待测样品在不同深度的不同解调图像，

其中，该待测样品位于该待测端路径上，而该反射元件位于该参考端路径上。

5.一种干涉仪成像方法，适于检测一待测样品，该成像方法包括：

提供一光束；

将该光束分成第一入射光及第二入射光；

将该第一入射光入射至该待测样品并反射成第一反射光；

接收该第二入射光并反射成第二反射光；

接收该第一反射光与该第二反射光，以产生干涉信号；以及

接收该干涉信号并对该干涉信号进行空间微分处理，以得到该待测样品之一解调图像，

其中，对该干涉信号进行空间微分处理，以得到该待测样品的该解调图像的该步骤包括：

计算而得该解调图像，I为该干涉信号，I′为对该干涉信号进行一阶空间微分而得，I″对该干涉信号进行二阶空间微分而得，I″′为对该干涉信号进行三阶空间微分而得，C为常数，其中，

如果该干涉信号包括x方向变化，则对该干涉信号进行x微分；

如果该干涉信号包括y方向变化，则对该干涉信号进行y微分；或者

如果该干涉信号包括x方向变化与y方向变化，则对该干涉信号进行x微分与y微分。

6.如权利要求5所述的干涉仪成像方法，还包括：

利用步进平移台以调整待测端路径与参考端路径之间的光程差，而得到该待测样品在不同深度的不同解调图像。