[发明专利]干涉仪及其成像方法

说明书

干涉仪及其成像方法，适于检测一待测样品。该干涉仪包括：一光源，提供一光束；一分光元件，接收光源所发出的光束，并将光束分成一第一入射光及一第二入射光，其中第一入射光入射至待测样品并反射成一第一反射光；一反射元件，接收第二入射光并反射成一第二反射光；一光检测元件，接收第一反射光与第二反射光，以产生一干涉信号；一信号处理模块，耦接至光检测元件，信号处理模块接收干涉信号并对干涉信号进行空间微分处理，以得到待测样品的一解调图像。

技术领域

本发明涉及一种干涉仪及其成像方法。

背景技术

光学相干断层扫描术(Optical coherence tomography；OCT)的主要工作原理利用麦克森干涉仪(Michelson Interferometer)结合低相干光源(Low coherence lightsource)。理想单频光经过分光镜(Beam Splitter；BS)后分为两路径，参考端(Referencearm)路径与样品端(Sample arm)路径。参考端路径上的光经平面镜反射后回传，部分光穿透分光镜至光检测器(Photodetector；PD)。样品端路径上的光经待测物反射后回传，部分光经分光镜反射至光检测器。如果参考端路径上的光与样品端路径上的光在相干长度(Coherence length)有重叠的话，则两者发生干涉。该干涉信号可由光检测器所测量。藉由前后移动平面镜来改变参考端路径与样品端路径的光程差(Optical Path Difference；OPD)，以得到待测物的不同轴向深度的干涉信息，进一步分析可得到待测物信息。

全域式光学相干断层扫描术(Full-field optical coherence tomography；FFOCT)是一种由时域(Time-domain)OCT所发展的架构，改良传统的时域OCT的扫描技术与提取图像，使扫描速度大幅提升。

由于全域式光学相干断层扫描术提取干涉条纹图像来重建图像，所以干涉算法在FFOCT中非常重要，愈复杂的算法越能解调出较好图像，但花费时间较久，且需相位精电平置才能重建好的图像质量。

故而，本申请提出一种具解调功能的干涉仪与其成像方法。

发明内容

本申请一例提出一种具解调功能的干涉仪，适于检测一待测样品。干涉仪包括：一光源，提供一光束；一分光元件，接收光源所发出的光束，并将光束分成一第一入射光及一第二入射光，其中第一入射光入射至待测样品并反射成一第一反射光；一反射元件，接收第二入射光并反射成一第二反射光；一光检测元件，接收第一反射光与第二反射光，以产生一干涉信号；一信号处理模块，耦接至光检测元件，信号处理模块接收干涉信号并对干涉信号进行空间微分处理，以得到待测样品之一解调图像。

本申请另一例提出一种干涉仪成像方法，适于检测一待测样品。成像方法包括：提供一光束；将光束分成一第一入射光及一第二入射光；将第一入射光入射至待测样品并反射成一第一反射光；接收第二入射光并反射成一第二反射光；接收第一反射光与第二反射光，以产生一干涉信号；以及接收干涉信号并对干涉信号进行空间微分处理，以得到待测样品之一解调图像。

为了对本发明的上述及其他方面有更佳的了解，下文特举实施例，并配合附图详细说明如下：

附图说明

图1显示根据本申请一实施例的干涉仪的架构示意图。

图2显示根据本申请一实施例的解调方法流程图。

图3显示根据本申请一实施例的干涉仪的成像方法。

【符号说明】

100：干涉仪 110：光源

115：准直透镜 120：分光元件

125：待测物镜 130：参考物镜