[发明专利]用于测试电子部件的插座和测试点装置

权利要求书

1.一种用于测试电子部件的插座（400），所述插座（400）包括：

多个力感测对（100），每个力感测对（100）均包括力接触弹簧（110）和感测接触弹簧（120），其中，所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）位于彼此附近，并且

其中，所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）中的至少一个包覆有电绝缘涂层，所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）在所述电绝缘涂层处彼此抵靠。

2.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）中的至少一个除了被测器件（DUT）侧尖端（111、121）和测试器侧尖端（117、127）以外完全被所述电绝缘涂层包覆。

3.根据权利要求1或2所述的插座（400），其中

所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）包覆有所述电绝缘涂层。

4.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述电绝缘涂层至少部分地包括一层聚对二甲苯、一层类金刚石碳（DLC）、一层陶瓷、一层清漆或一层聚酰亚胺箔。

5.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述多个力感测对中的两个相邻的力感测对通过中间间隔物彼此电绝缘。

6.根据权利要求5所述的插座（400），其中

所述中间间隔物包括：

在所述两个相邻的力感测对的尖端区域（200）附近的前侧间隔物部分（502a），以及

在所述相邻的力感测对的伸出臂（103、103a、103b）附近的后侧间隔物部分（503a）。

7.根据权利要求5所述的插座（400），其中

三个相邻的力感测对中的中间力感测对布置在位于所述中间力感测对的每侧上的两个中间间隔物的狭缝（501）内。

8.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）中的至少一个包括位于尖端区域（200）附近的切割自由区（212），使得所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）在所述切割自由区（212）中无接触。

9.根据权利要求1所述的插座（400），其中

在与所述力接触弹簧（110）的移动平面垂直的方向上，所述力接触弹簧（110）比所述感测接触弹簧（120）厚。

10.根据权利要求1所述的插座（400），其中

互锁块（505）将力互锁销（115）和感测互锁销（125）互锁，使得所述力接触弹簧（110）和所述感测接触弹簧（120）由同一互锁块（505）互锁。

11.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述多个力感测对被分为一组，使得所述力感测对沿直线布置。

12.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述多个力感测对被分为两组，所述两组力感测对中的每组力感测对中的所述力感测对沿直线布置，其中，所述两组力感测对位于彼此对面。

13.根据权利要求1所述的插座（400），其中

所述多个力感测对被分为四组，所述四组力感测对中的每组力感测对中的所述力感测对沿直线布置，其中，所述四组力感测对中的第一组力感测对和第三组力感测对位于彼此对面，所述四组力感测对中的第二组力感测对和第四组力感测对位于彼此对面，并且所述第二组力感测对和所述第四组力感测对与所述第一组力感测对和所述第三组力感测对成矩形布置。