[发明专利]用于测试电子部件的插座和测试点装置

说明书

一种用于测试电子部件的插座，包括：多个力感测对，每个力感测对均包括力接触弹簧和感测接触弹簧，其中，力接触弹簧和感测接触弹簧位于彼此附近，并且其中，力接触弹簧和感测接触弹簧中的至少一个包覆有电绝缘涂层，力接触弹簧和感测接触弹簧在该电绝缘涂层处彼此抵靠。

技术领域

本发明的实施方案涉及一种用于测试电子部件的插座以及一种包括多个测试插座的测试点装置(test site arrangement)。

背景技术

在测试电子部件的后端过程中，为了达到正确的测试结果，需要电子部件的良好接触。所谓的“开尔文接触插座”使用电开尔文接触来评估接触弹簧与电子部件或所谓的DUT(“被测器件”)的末端的接触。开尔文接触要求接触DUT的末端两次。然而，在半导体技术的开发过程中，DUT的间距和测试点装置的间距变得越来越小。

发明内容

可能需要提供下述用于测试电子部件的插座，该插座在尽管测试点装置的间距小的情况下也能评估与相应电子部件的接触质量。为了满足上述需要，提供了根据本申请的用于测试电子部件的插座和包括多个插座的测试点装置。

根据本发明的实施方案，用于测试电子部件的插座包括：多个力感测对，每个力感测对均包括力接触弹簧和感测接触弹簧，其中，力接触弹簧和感测接触弹簧位于彼此附近，并且其中，力接触弹簧和感测接触弹簧中的至少一个包覆有电绝缘涂层，力接触弹簧和感测接触弹簧在该电绝缘涂层处彼此抵靠或邻接。

根据本发明的另一实施方案，测试点装置包括多个插座，其中，所述多个插座布置成矩阵形式。

特别地，力接触弹簧和感测接触弹簧直接位于彼此附近。特别地，可限定有区域，在所述区域中力接触弹簧和感测接触弹簧彼此邻接。该区域可以包括一个或多个区(在所述区中力接触弹簧和感测接触弹簧彼此邻接)。特别地，在力接触弹簧和感测接触弹簧彼此抵靠或邻接的区域中，力接触弹簧或感测接触弹簧中的任一个包覆有电绝缘涂层。术语“矩阵”可以指至少2x1或1x2的阵列。

术语“插座”可以指所谓的“开尔文插座”、“开尔文接触插座”或简单的“接触插座”，用作接触弹簧的容器，所述接触弹簧适于接触单个电子部件或所谓的“DUT”(“被测器件”)的末端。

词语“力感测对”可以指使用四端子感测，也称为开尔文感测(或4线测量)。同时被设计成将力感测对连接至DUT的单个末端或导线的接触对通常被称为开尔文接触。因此，力感测对可以包括具有与感测接触弹簧的轮廓非常类似的轮廓的力接触弹簧。特别地，力接触弹簧和感测接触弹簧可以在很大程度上是一致的(congruent，叠合)。

词语“接触弹簧”可以指导电弹簧，包括：用于接触DUT的末端的尖端；DUT侧伸出臂，尖端位于其端部处，所述DUT侧伸出臂允许尖端的弹性移动；测试器侧尖端，用于接触所谓的DUT板；以及测试器侧伸出臂，测试器侧尖端位于其端部处，所述测试器侧伸出臂允许测试器侧尖端的弹性移动。取决于在开尔文接触中接触弹簧是用作力接触还是感测接触的电目的，“接触弹簧”这个名称可以适用于词语“力接触弹簧”和“感测接触弹簧”。接触弹簧可以通过用线切割EDM来切割金属片而一体形成。

短语“位于彼此附近”可以指接触和邻接意义上的相邻。位于彼此附近的表达可以明确地意指在某个点、某条线或某个区处相遇并接触。词语“测试点装置”可以指插座(测试插座或特别地开尔文插座)的矩阵布置。特别地，插座矩阵可以布置在所谓的DUT板上，在ATE(自动化测试设备)中实现从DUT到测试器的电接触。