[发明专利]一种用于挖沟槽的硅片旋转装置

权利要求书

1.一种用于挖沟槽的硅片旋转装置，其特征在于：所述挖沟槽的槽体两端的底部分别设有固定架；所述固定架的内侧均设有翻转支座(7)；所述固定架上设有传动机构，所述传动机构与对应的所述翻转支座(7)固定连接；所述槽体两端侧壁外部均设有滚动调速马达(3)，所述滚动调速马达(3)与所述传动机构传动连接；所述翻转支座(7)的两端分别设有锁紧机构。

2.根据权利要求1所述用于挖沟槽的硅片旋转装置，其特征在于：所述固定架包括垂直设置的第一固定架(11)和第二固定架(12)；所述第一固定架(11)设于所述第二固定架(12)的外侧；所述槽体侧壁上设有过孔，所述滚动调速马达(3)的转轴穿过所述过孔后与电机端齿轮(2)固定连接；所述第一固定架(11)上设有第一过孔；所述第一过孔的外侧设有第一传动齿轮(6)，内侧设有第二传动齿轮(8)；所述第一传动齿轮(6)和所述第二传动齿轮(8)通过所述第一过孔固定连接；所述第一传动齿轮(6)与所述电机端齿轮(2)通过传动皮带(4)连接；所述第二固定架(12)上设有第二过孔；所述第二过孔的外侧设有支座端齿轮(5)，内侧设有连接板；所述连接板与所述支座端齿轮(5)通过所述第二过孔固定连接，所述连接板的底端与所述翻转支座(7)固定连接；所述支座端齿轮(5)与所述第二传动齿轮(8)相互啮合。

3.根据权利要求1所述用于挖沟槽的硅片旋转装置，其特征在于：所述翻转支座(7)为水平设置。

4.根据权利要求2所述用于挖沟槽的硅片旋转装置，其特征在于：所述第一固定架(11)和所述第二固定架(12)均垂直固定设于所述槽体内底面上。

5.根据权利要求1-4任一所述用于挖沟槽的硅片旋转装置，其特征在于：所述锁紧机构包括滑动设置在所述翻转支座(7)上的滑动杆，所述滑动杆的下端设有滑块；所述滑块置于设置在所述翻转支座(7)上的滑条(9)内；所述滑块与所述滑条(9)之间为高摩擦力滑动；所述滑动杆的上端与锁紧拨钮(1)连接；所述槽体两端的滑动杆之间设有若干锁紧杆。

6.根据权利要求5所述用于挖沟槽的硅片旋转装置，其特征在于：所述高摩擦力滑动的具体结构为所述滑块与所述滑条(9)的内壁紧贴设置。

7.根据权利要求5所述用于挖沟槽的硅片旋转装置，其特征在于：所述高摩擦力滑动的具体结构为所述滑块与所述滑条(9)的内壁紧贴设置；所述滑块与所述滑条(9)的接触面均为粗糙面。