[发明专利]一种恒温可控镀膜机

权利要求书

1.一种恒温可控镀膜机，包括真空炉室及其内部的工件台，其特征在于：所述真空炉室由炉顶、炉底、内筒体及外筒体组合而成，所述内筒体设置在外筒体内且内筒体的外侧面与外筒体的内侧面间留有层状空间，内筒体及外筒体的顶端与炉顶间密封连接，底端与炉底间密封连接；

所述工件台下方设有固定台，工件台底部中间位置还设有被动齿轮，所述固定台上设有与被动齿轮相啮合的主动齿轮，此主动齿轮由固定台下方的电机相连；

所述固定台通过连接杆与炉底下方的升降机构相连；

所述层状空间内设有若干交替设置的第一竖直凸条和第二竖直凸条，相邻第一竖直凸条与第二竖直凸条间形成流通通道，所述第一竖直凸条和第二竖直凸条的内侧面分别与内筒体的外侧面密封接触连接，外侧面分别与外筒体的内侧面密封接触连接；

所述第一竖直凸条的顶端与炉顶间密封接触连接，底端与炉底间留有第一通道间隙，所述第二竖直凸条的底端与炉底间密封接触连接，顶端与炉顶间留有第二通道间隙；

所述第一竖直凸条和第二竖直凸条与内筒体为一体成型，且均为金属材质；

所述外筒体一侧下方设有与相应流通通道相连通的进水管道，另一侧上方设有与相应流通通道相连通的出水管道；所述进水管道上设有第一流量控制阀，所述出水管道上设有第二流量控制阀，所述炉顶上固定有插入真空炉室内部的热电偶，所述第一流量控制阀、第二流量控制阀及热电偶分别与一控制器相连。

2.根据权利要求1所述的一种恒温可控镀膜机，其特征在于：所述炉顶上方设有真空计。

3.根据权利要求1所述的一种恒温可控镀膜机，其特征在于：所述真空炉室上还设有炉门，所述炉门包括固定门框及活动门板，所述固定门框固定在外筒体上，其内侧设有向真空炉室内凸起的凸起框，此凸起框与内筒体间密封连接，层状空间内凸起框的外周侧设有连接管路，此连接管路的一侧设有与此一侧相邻的流通通道相连通的进水口，另一侧设有与此一侧相邻的流通通道相连通的出水口。

4.根据权利要求3所述的一种恒温可控镀膜机，其特征在于：所述活动门板上设有透视观察窗。