[发明专利]一种恒温可控镀膜机

说明书

本发明提供了一种新型恒温可控镀膜机，包括真空炉室及其内部的工件台，所述真空炉室由炉顶、炉底、内筒体及外筒体组合而成，所述内筒体与外筒体间留有夹层空间；所述层状空间内设有若干交替设置的第一竖直凸条和第二竖直凸条以形成循环流通通道；所述外筒体上的进水管道和出水管道上均设有流量控制阀，炉顶上固定有热电偶，流量控制阀及热电偶分别与控制器相连。本发明对现有的可冷却镀膜机进行了结构优化改进，其结构及制作简单，成本低，通过控制冷却水流量进而控制真空室工作温度，可实现镀膜机真空室在一定的恒温状态下进行连续的工作，且工作稳定性好。

技术领域

本发明涉及真空镀膜机技术领域，特别是一种新型恒温可控镀膜机。

背景技术

真空室是镀膜机中的一个关键结构件，在工作中往往承受比较高的温度，而且温度的高低不容易受到控制和检测，真空室的温度对镀膜机的镀膜效果和有效连续工作时间具有比较大的影响。一般为了改善真空室冷却效果，常采取镀膜机工作一段时间后停止工作自然冷却降温的手段，但这样会严重影响生产周期和效率。

公布号CN103290360A的专利文献公开了一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括真空镀膜机腔体，所述真空镀膜机腔体外侧壁上固定扣设有若干条一侧开口的管壳，该管壳开口侧朝向真空镀膜机腔体，该管壳与真空镀膜机腔体外侧壁之间形成供冷却水流通的通道，该通道内设有流动的冷却水，所述管壳沿其长度方向的两端分别设有进、出水口，本发明冷却水直接与真空镀膜机腔体接触，快速的将其表面的热量带走，冷却速度快。但是，本专利产品存在如下问题：(1)冷却水通道采用管壳的形式，其管壳与腔体外侧壁间必须密封连接，如果采用其所述的“扣设”等形式，则在腔体外侧壁及管壳上均需设置相应的扣合结构，制作较为复杂，成本高，且管壳内是水压过高时会引起管壳脱离腔体外侧壁而失去冷却功能；而如果采用焊接等形式，则需要耗费大量工时，且使用寿命较短；(2)只能实现冷却作用，但是不能精确控制镀膜机腔体内的工作温度，不能有效保障工作温度的恒定；(3)由其附图可知其镀膜机本体结构较为复杂，制作过程比较繁琐，使用不便。

现有技术中其它类别的管壳形式的镀膜机冷却结构均存在上述问题，一种制作简单，结构优化且温度控制精确的镀膜机亟需被研发问世。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供了一种新型恒温可控镀膜机，对现有的可冷却镀膜机进行了结构优化改进，其结构及制作简单，成本低，通过控制冷却水流量进而控制真空室工作温度，可实现镀膜机真空室在一定的恒温状态下进行连续的工作，且工作稳定性好。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种新型恒温可控镀膜机，包括真空炉室及其内部的工件台，所述真空炉室由炉顶、炉底、内筒体及外筒体组合而成，所述内筒体设置在外筒体内且内筒体的外侧面与外筒体的内侧面间留有层状空间，内筒体及外筒体的顶端与炉顶间密封连接，底端与炉底间密封连接；

所述层状空间内设有若干交替设置的第一竖直凸条和第二竖直凸条，相邻第一竖直凸条与第二竖直凸条间形成流通通道，所述第一竖直凸条和第二竖直凸条的内侧面分别与内筒体的外侧面密封接触连接，外侧面分别与外筒体的内侧面密封接触连接；

所述第一竖直凸条的顶端与炉顶间密封接触连接，底端与炉底间留有第一通道间隙，所述第二竖直凸条的底端与炉底间密封接触连接，顶端与炉顶间留有第二通道间隙；

所述外筒体一侧下方设有与相应流通通道相连通的进水管道，另一侧上方设有与相应流通通道相连通的出水管道；所述进水管道上设有第一流量控制阀，所述出水管道上设有第二流量控制阀，所述炉顶上固定有插入真空炉室内部的热电偶，所述第一流量控制阀、第二流量控制阀及热电偶分别与一控制器相连。

作为进一步的优选实施方案，所述第一竖直凸条和第二竖直凸条与内筒体为一体成型，且均为金属材质。

作为进一步的优选实施方案，所述炉顶上方设有真空计。