[发明专利]TFT基板减薄方法

说明书

本发明涉及一种TFT基板减薄方法，包括：提供TFT基板；对所述TFT基板的玻璃基板进行蚀刻；判断所述TFT基板的厚度减到适用于超声波指纹识别模组的厚度时，停止所述蚀刻操作。该TFT基板减薄方法可以减小TFT基板的厚度，从而满足超声波指纹识别模组的需求。

技术领域

本发明涉及指纹识别技术领域，特别是涉及一种TFT基板减薄方法。

背景技术

超声波指纹识别技术是利用超声波具有穿透材料的能力，且随材料的不同产生大小不同的回波(即超声波到达不同材质表面时，被反射回的超声波能量及历经的路程不同)而进行指纹识别的。因此，利用皮肤与空气对于声波阻抗的差异，就可以区分指纹嵴与峪所在的位置。超声波指纹识别技术可以对指纹进行更深入的分析采样，甚至能渗透到皮肤表面之下识别出指纹独特的三维特征。而且，由于超声波具有一定穿透性，因此在手指有少量污垢或潮湿的情况下仍能工作，可以穿透玻璃、铝、不锈钢、蓝宝石等设备进行识别。因此，超声波指纹识别技术越来越受到人们的重视。

超声波指纹识别模组如果要应用于体积较小的设备(例如手机)中，就要考虑超声波指纹识别模组的体积是否符合设备的需求。因此，如何提供一种能够减小超声波指纹识别模组体积的工艺是亟待解决的问题。

发明内容

基于此，有必要针对如何提供一种能够减小超声波指纹识别模组体积的工艺的问题，提供一种TFT基板减薄方法。

一种TFT基板减薄方法，包括：

提供TFT基板；

对所述TFT基板的玻璃基板进行蚀刻；

判断所述TFT基板的厚度减到适用于超声波指纹识别模组的厚度时，停止所述蚀刻操作。

在其中一个实施例中，所述对所述TFT基板的玻璃基板进行蚀刻的步骤为：

对所述TFT基板的玻璃基板利用化学物质进行蚀刻。具体地，所述化学物质为氢氟酸。

由于利用化学物质进行蚀刻，无需对TFT基板进行物理撞击等操作，从而可以避免对TFT基板的电路造成损坏。

在其中一个实施例中，所述对所述TFT基板的玻璃基板利用化学物质进行蚀刻的步骤包括：

在所述TFT基板的电路表面覆盖一层保护膜；所述保护膜用于避免所述电路被所述化学物质蚀刻；

将覆盖有所述保护膜的TFT基板放置于盛有所述化学物质的装置中，以使得所述玻璃基板被所述化学物质蚀刻；

并且，在判断所述TFT基板的厚度减到适用于超声波指纹识别模组的厚度时，停止所述蚀刻操作之后，所述方法还包括：

将所述保护膜去除。上述蚀刻方法操作简单，而且具有较快的蚀刻速度。

在其中一个实施例中，所述保护膜为UV膜。

在其中一个实施例中，在所述TFT基板的电路表面覆盖一层保护膜的步骤之前，所述对所述TFT基板的玻璃基板利用化学物质进行蚀刻的步骤还包括：

在所述TFT基板的电路表面的有效显示区域贴一层静电纸。贴上静电纸后，可以防止在蚀刻完成去除UV膜时，出现UV膜残留的情况。

在其中一个实施例中，所述将所述保护膜去除的步骤包括：

利用真空平台将蚀刻完成后的所述TFT基板吸附起来，并使得所述保护膜裸露在外；

利用紫外线对所述保护膜进行照射，并在照射完成后将所述保护膜撕除。由于TFT基板被减薄后，厚度很薄，因此利用真空平台吸附，可以避免TFT基板发生破碎。