[发明专利]一种高稳定性离子束抛光装置有效
| 申请号： | 201710820560.5 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN107470991B | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 倪磊;倪晋 | 申请（专利权）人： | 成都睿坤科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 马碧娜 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双流西*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稳定性 离子束 抛光 装置 | ||
1.一种高稳定性离子束抛光装置，包括放电腔(1)、位于放电腔(1)内的阳极板(2)、以及设置在放电腔(1)出口端的若干层格栅板(3)，最外层格栅板(3)上设置安装块(4)，所述安装块(4)上设置钨丝(5)，所述钨丝(5)的一端伸出至安装块(4)外侧，其特征在于，相邻两块格栅板(3)之间设置陶瓷连接块(7)，所述陶瓷连接块(7)的相对两侧分别与两块格栅板(3)固定连接；所述安装块(4)的侧面设置一端敞口的凹槽(6)，所述凹槽(6)的敞口方向朝向钨丝(5)伸出至安装块(4)外侧的方向，且所述凹槽(6)的孔径从敞口端至内部线性增大；所述陶瓷连接块(7)为与格栅板(3)外缘形状一致的环形结构；所述格栅板(3)呈圆形，格栅板(3)上的通孔(31)分布在格栅板(3)中心位置。
2.根据权利要求1所述的一种高稳定性离子束抛光装置，其特征在于，所述阳极板(2)通过导线电连接至放电腔(1)外部。
3.根据权利要求1所述的一种高稳定性离子束抛光装置，其特征在于，所述放电腔(1)上设置输气口(8)。
4.根据权利要求1所述的一种高稳定性离子束抛光装置，其特征在于，所述钨丝(5)还固定连接在放电腔(1)外壁上。
5.根据权利要求1所述的一种高稳定性离子束抛光装置，其特征在于，所述凹槽(6)的纵截面呈等腰三角形，且所述等腰三角形的顶角位于凹槽(6)的敞口端。
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