[发明专利]一种PERC电池背面氮化硅膜厚的检测方法在审
| 申请号： | 201710831424.6 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN107612504A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 朱露 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H02S50/15 | 分类号： | H02S50/15 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 perc 电池 背面 氮化 硅膜厚 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种PERC电池背面氮化硅膜厚的检测方法，其特征是：具有如下步骤：
a、将背面镀好氮化硅的PERC电池片置于反射率测试仪的测试台面上，保持镀有氮化硅膜的电池片背面朝上；
b、启动测试仪对电池片进行反射率测试，氙灯发出的光通过积分球漫反射，漫反射的光子一部分被电池片吸收，另一部分光子被电池片背面的氮化硅膜反射出并通过积分球被光谱仪收集检测；
c、测试完毕，在反射率测试仪的操作界面上得到一个反射率曲线图，分析其中最大反射率波长，以确定所测电池片上氮化硅膜厚的范围。
2.如权利要求1所述PERC电池背面氮化硅膜厚的检测方法，其特征是：步骤c中，当最大反射率波长在520～620nm之间，膜厚值在110nm～140nm之间，且膜呈淡蓝色；当最大反射率波长在600～680nm之间，膜厚值在140nm～160nm之间，且膜呈金黄色；当最大反射率波长在700～800nm之间，膜厚值在170nm～190nm之间，且膜呈紫红色。
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