[发明专利]一种PERC电池背面氮化硅膜厚的检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其是一种PERC电池背面氮化硅膜厚的检测方法。

背景技术

太阳能电池应用技术中，由于PERC电池背面氮化硅膜厚普遍都在120nm以上，因此采用传统的激光椭偏仪已无法准确测试其膜厚，而目前的光谱椭偏仪使用起来又比较繁琐，需要建模分析，不同的膜厚需要建不同的模型，且对建构模型有很严格的要求，因此测量过程较为繁琐，对于操作者而言也不易准确掌握，影响测量结果。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术中之不足，本发明提供一种操作简单方便的PERC电池背面氮化硅膜厚的检测方法。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种PERC电池背面氮化硅膜厚的检测方法，具有如下步骤：

a、将背面镀好氮化硅的PERC电池片置于反射率测试仪的测试台面上，保持镀有氮化硅膜的电池片背面朝上；

b、启动测试仪对电池片进行反射率测试，氙灯发出的光通过积分球漫反射，漫反射的光子一部分被电池片吸收，另一部分光子被电池片背面的氮化硅膜反射出并通过积分球被光谱仪收集检测；

c、测试完毕，在反射率测试仪的操作界面上得到一个反射率曲线图，分析其中最大反射率波长，以确定所测电池片上氮化硅膜厚的范围。

进一步地，作为检测后的判断，步骤c中，当最大反射率波长在520～620nm之间，膜厚值在110nm～140nm之间，且膜呈淡蓝色；当最大反射率波长在600～680nm之间，膜厚值在140nm～160nm之间，且膜呈金黄色；当最大反射率波长在700～800nm之间，膜厚值在170nm～190nm之间，且膜呈紫红色。

本发明的有益效果是：本发明通过测试电池片背面反射率最大反射率的波长，以检测PERC电池背面镀膜层的厚度，操作简单方便，使用该方法，可以简单有效的监控电池片背面镀膜的膜厚和折射率，并且可操作性强，操作者只需经过简单的培训就能操作。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明在反射率测试仪所显示的电池片反射率曲线图。

具体实施方式

一种PERC电池背面氮化硅膜厚的检测方法，PERC电池通过制绒、扩散、洗磷、理想、退火及镀背面氮化硅后，对所镀膜厚进行检测，检测过程具有以下步骤：

a、将背面镀好氮化硅的PERC电池片置于反射率测试仪的测试台面上，保持镀有氮化硅膜的电池片背面朝上；

b、启动测试仪对电池片进行反射率测试，氙灯发出的光通过积分球漫反射，漫反射的光子一部分被电池片吸收，另一部分光子被电池片背面的氮化硅膜反射出，并通过积分球被光谱仪收集检测；

c、测试完毕，在反射率测试仪的操作界面上得到一个反射率曲线图，如图1所示，分析其中最大反射率波长，以确定所测电池片上氮化硅膜厚的范围。

检测后从反射率曲线图上判断，并依据经验值分析，固定折射率(这里是指什么的固定折射率？)在2.0～2.03之间，当最大反射率波长在520～620nm之间，膜厚值范围在110nm～140nm之间，且膜呈淡蓝色；当最大反射率波长在600～680nm之间，膜厚值范围在140nm～160nm，且膜呈金黄色；当最大反射率波长在700～800nm之间，膜厚值范围在170nm～190nm，且膜呈紫红色。

本发明通过测试电池片背面反射率最大反射率的波长，以检测PERC电池背面镀膜层的厚度，操作简单方便，使用该方法，可以简单有效的监控电池片背面镀膜的膜厚和折射率，并且可操作性强，操作者只需经过简单的培训就能操作。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。