[发明专利]低碳、无油大抽速真空抽气机组

权利要求书

1.一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有径流泵机组，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀；

所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。

2.根据权利要求1所述的低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。

3.一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内由下向上依次设有径流泵机组、化学吸附泵机组和深冷水汽泵，所述径流泵机组由若干并联抽气的径流泵组成，各所述径流泵共用一台前级泵，所述径流泵机组的排气口与所述前级泵之间设有第三真空阀，所述深冷水汽泵采用单制冷模式；

所述径流泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。

4.根据权利要求3所述的低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，所述化学吸附泵机组由若干并联的电弧钛泵组成。

5.一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、化学吸附泵机组、深冷水汽泵、径流泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第二真空阀，所述真空室和深冷水汽泵之间设有第三真空阀，所述真空室和径流泵机组之间设有第四真空阀，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第五真空阀与前级泵连接；

所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。

6.根据权利要求5所述的低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。