[发明专利]低碳、无油大抽速真空抽气机组

说明书

本发明提供了一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其采用若干立式复合径流分子泵+深冷水汽泵+化学吸附泵抽气机组，获得能与传统扩散泵相当的抽速，具有大幅度节省抽气能耗，缩短抽气时间和消除油蒸汽污染的显著优点。

技术领域

本发明属于真空技术领域，尤其涉及一种低碳、无油大抽速真空抽气机组。

背景技术

传统扩散泵具有抽速大、价格低和维护方便等优点，几十年来，一直是大型工业高真空设备的主流泵种，然而，该扩散泵存在如下缺点：

1.油蒸汽污染大：扩散泵利用油蒸汽喷射流抽气，油蒸汽污染严重，影响真空产品的质量。

3.能耗高：一台几万L/s的扩散泵抽气机组，耗电高达30～50万度/年。

上述缺点是当今真空产业亟待解决，但一直未能攻克的难题。

发明内容

本发明的目的在于采用一种可显著降低油蒸汽污染和能耗的低碳、无油大抽速真空抽气机组。

本发明是这样实现的，一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有径流泵机组，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。

具体地，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。

具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。

本发明还提供了另一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内由下向上依次设有径流泵机组、化学吸附泵机组和深冷水汽泵，所述径流泵机组由若干并联抽气的径流泵组成，各所述径流泵共用一台前级泵，所述径流泵机组的排气口与所述前级泵之间设有第三真空阀，所述深冷水汽泵采用单制冷模式。

具体地，所述化学吸附泵机组由若干并联的电弧钛泵组成。

具体地，所述径流泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。

本发明还提供了另一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、化学吸附泵机组、深冷水汽泵、径流泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第二真空阀，所述真空室和深冷水汽泵之间设有第三真空阀，所述真空室和径流泵机组之间设有第四真空阀，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第五真空阀与前级泵连接。

具体地，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。