[发明专利]一种旋转靶材热喷涂系统及方法

权利要求书

1.一种旋转靶材热喷涂系统，其特征在于：包括密封喷涂仓，所述密封喷涂仓内设置有工件旋转机构和喷枪操作机构，所述喷枪操作机构设置于所述工件旋转机构下方；还包括除尘器、风机、换热装置，所述除尘器连接于密封喷涂仓的出风口，所述风机连接除尘器的出风口，所述密封喷涂仓、除尘器、风机通过通风管路形成一闭合回路，所述换热装置设置于通风管路上，所述通风管路贯穿所述换热装置；还包括真空泵与氮气进气口，所述真空泵与氮气进气口分别通过管道连通所述密封喷涂仓，所述真空泵的连通管道上设置有第一电动蝶阀，所述氮气进气口处设置有第二电动蝶阀，所述密封喷涂仓出风口与除尘器之间设置有第三电动蝶阀；所述真空泵与密封喷涂仓出口端连通的管道上设置有第一氧气探测器，所述密封喷涂仓设置有第二氧气探测器；所述通风管路上设置有泄压阀。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材热喷涂系统，其特征在于：所述换热装置为翅片式换热装置，包括分别设置于两端的进水口与出水口，内部设置有多个换热片。

3.一种旋转靶材热喷涂方法，其用于权利要求1至2任一所述的旋转靶材热喷涂系统，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一：安装工件，关闭密封喷涂仓；

步骤二：开启真空泵，打开第一电动蝶阀，对闭合回路抽真空，形成负压；

步骤三：开启第二电动蝶阀，在密封喷涂仓内充入氮气；

步骤四：检测密封喷涂仓内氧气含量，当氧气浓度低于低于0.1％时，关闭第一电动蝶阀与第二电动蝶阀，打开第三电动蝶阀，启动工件旋转机构和喷枪操作机构，同时启动除尘器、风机及换热装置，对工件进行热喷涂；

步骤五：持续检测氧气浓度，当氧气浓度高于0.5％时，开启第二电动蝶阀，对密封喷涂仓内充入氮气，调节系统内的氧气浓度为正常值；

步骤六：调节系统压强，当系统压强大于0.2Mpa时，泄压阀开启，调节系统内压强，使压强保持在0.2Mpa以下。