[发明专利]一种旋转靶材热喷涂系统及方法有效

专利信息
申请号: 201710841050.6 申请日: 2017-09-18
公开(公告)号: CN107893209B 公开(公告)日: 2023-09-26
发明(设计)人: 郑成添;刘剑辉;潘国飞;区汉初;李志刚 申请(专利权)人: 佛山先进表面技术有限公司
主分类号: C23C4/137 分类号: C23C4/137;C23C14/34
代理公司: 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 代理人: 谭健洪;莫瑶江
地址: 528244 广东省佛山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 旋转 靶材热 喷涂 系统 方法
【说明书】:

本发明公开了一种旋转靶材热喷涂系统,包括密封喷涂仓,密封喷涂仓内设置有工件旋转机构和喷枪操作机构,喷枪操作机构设置于工件旋转机构下方;还包括除尘器、风机、换热装置,除尘器连接于密封喷涂仓的出风口,风机连接除尘器的出风口,密封喷涂仓、除尘器、风机通过通风管路形成一闭合回路,换热装置设置于通风管路上,通风管路贯穿换热装置;还包括真空泵与氮气进气口,真空泵与氮气进气口分别通过管道连通密封喷涂仓。该系统设计简明高效,涂层氧化物含量低,对粉尘处理彻底,无环境污染,设备制作简单,具有良好的处理加工效果及经济效益。

技术领域

本发明属于涂装设备领域,具体涉及一种旋转靶材热喷涂系统及喷涂方法。

背景技术

目前,国内优质的旋转靶材采用真空等离子喷涂工艺生产。其特点是氧化物含量低。但是设备气密性要求高,制造价格高。而且喷涂过程中无气体流动,喷涂产生的粉尘会污染涂层,影响涂层质量。

发明专利内容

本发明针对上述问题,提供一种旋转靶材热喷涂系统,喷涂仓内氧气含量少,不仅能够极大减少涂层氧化物含量,而且能在喷涂过程中,通过流动的气体带走并过滤喷涂产生的粉尘,提高涂层质量。

为实现上述目标,本发明提供如下技术方案:

一种旋转靶材热喷涂系统,包括密封喷涂仓,密封喷涂仓内设置有工件旋转机构和喷枪操作机构,喷枪操作机构设置于工件旋转机构下方;还包括除尘器、风机、换热装置,除尘器连接于密封喷涂仓的出风口,风机连接除尘器的出风口,密封喷涂仓、除尘器、风机通过通风管路形成一闭合回路,换热装置设置于通风管路上,通风管路贯穿换热装置;还包括真空泵与氮气进气口,真空泵与氮气进气口分别通过管道连通密封喷涂仓,真空泵的连通管道上设置有第一电动蝶阀,氮气进气口处设置有第二电动蝶阀,密封喷涂仓出风口与除尘器之间设置有第三电动蝶阀。

密封喷涂仓设置有第一氧气探测器,真空泵与密封喷涂仓出口端连通的管道上设置有第二氧气探测器。

通风管路上设置有泄压阀。

换热装置为翅片式换热装置,包括分别设置于两端的进水口与出水口,内部设置有多个换热片。

同时,提供一种相对应的旋转靶材热喷涂方法,包括以下步骤:

步骤一:安装工件,关闭密封喷涂仓;

步骤二:开启真空泵,打开第一电动蝶阀,对闭合回路抽真空,形成负压;

步骤三:开启第二电动蝶阀,在密封喷涂仓内充入氮气;

步骤四:检测密封喷涂仓内氧气含量,当氧气浓度低于低于0.1%时,关闭第一电动蝶阀与第二电动蝶阀,打开第三电动蝶阀,启动工件旋转机构和喷枪操作机构,同时启动除尘器、风机及换热装置,对工件进行热喷涂;

步骤五:持续检测氧气浓度,当氧气浓度高于0.5%时,开启第二电动蝶阀,对密封喷涂仓内充入氮气,调节系统内的氧气浓度为正常值;

步骤六:调节系统压强,当系统压强大于0.2Mpa时,泄压阀开启,调节系统内压强,使压强保持在0.2Mpa以下。

与现有技术相比,本发明具有如下有益效果:

本发明旋转靶材热喷涂系统,设计简明高效,喷涂氛围中氧气含量极少,又无需在真空环境中,不仅能够极大减少涂层氧化物含量,而且能在喷涂过程中,通过流动的气体带走并过滤喷涂产生的粉尘,提高涂层质量,涂层氧化物含量低,对粉尘处理彻底,无环境污染。设备无需真空耐压,其制造成本也降低。设备制作简单,具有良好的处理加工效果及经济效益。

附图说明

图1为本发明旋转靶材热喷涂系统的结构示意图。

图2为本发明旋转靶材热喷涂方法的流程示意图。

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