[发明专利]Cu/SiO2 有效
申请号: | 201710842165.7 | 申请日: | 2017-09-18 |
公开(公告)号: | CN107639237B | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 崔成强;赖韬;杨斌;张昱 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | B22F9/24 | 分类号: | B22F9/24;B22F1/02;B82Y40/00;H01L21/48 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 510062 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | cu sio base sub | ||
本发明提供了一种Cu/SiO2复合材料的制备方法,包括以下步骤:将铜盐、纳米二氧化硅、还原剂和保护剂进行水热反应,得到Cu/SiO2复合材料。本申请还提供了一种利用Cu/SiO2复合材料制备铜‑陶瓷基板的方法,包括以下步骤:将Cu/SiO2复合材料与有机溶剂混合,得到纳米铜膏;将所述纳米铜膏印刷于陶瓷基板表面,再进行烧结,最后依次进行光刻、显影和电镀,得到铜‑陶瓷基板。本申请制备铜‑陶瓷基板的过程中,由于Cu/SiO2复合材料的纳米尺寸效应与其中的纳米SiO2可与陶瓷基板中的三氧化二铝、氮化铝反应,从而可在较低的烧结温度下实现铜‑陶瓷间的高强度键合。
技术领域
本发明涉及电子封装技术领域,尤其涉及Cu/SiO2复合材料、其制备方法与铜-陶瓷基板的制备方法。
背景技术
对于电力电子封装而言,陶瓷基板由于具有的高热导率,使热量从芯片导出,实现与外界的电互连与热交换,同时还兼具布线(点互连)和机械支撑的功能。目前常用的散热基板主要包括LTCC、 HTCC、DBC以及DPC陶瓷基板等。LTCC和HTCC基板内部金属线路层采用丝网印刷工艺制成,易产生线路粗糙、对位不精准、收缩比例问题,在高导热、高功率密度、高压以及大电流环境下的应用受限。
DBC基板各项性能良好,适用于高耐压大功率。然而,陶瓷基板裸片与金属材料的反应能力低、润湿性差,因此陶瓷基板与铜片之间易产生气孔最终使得结合强度降低;加之金属化工艺复杂,烧结温度相对较高(烧结温度大约为1065℃),成本一直难以得到有效控制,目前只能应用于有特殊需求的领域。DPC基板是利用薄膜技术完成线路及图形的种子层,再用电化学沉积的方式加厚线路及图形,进而完成整个基板的金属化。但目前DPC基板需要克服的问题是种子层与陶瓷基板反应能力低,易产生气孔使得结合强度降低。
申请号201110310121.2的中国专利公开了低温烧结制备金属化陶瓷基板的方法,其是先在陶瓷基板表面镀一层金属层,然后通过丝网印刷工艺,将纳米金属膏印刷在陶瓷基板表面形成金属膏层,最后在一定的温度和气氛环境下烧结。该方法同样存在DPC基板种子层与陶瓷基板结合强度不足的问题。
发明内容
本发明解决的技术问题在于提供一种Cu/SiO2复合材料、其制备方法与铜-陶瓷基板的制备方法,本申请提供的铜-陶瓷基板的制备方法,可在较低的温度下实现铜-陶瓷间的高强度键合。
有鉴于此,本申请提供了一种Cu/SiO2复合材料的制备方法,包括以下步骤:
将铜盐、纳米二氧化硅、还原剂和还原剂进行水热反应,得到 Cu/SiO2复合材料。
优选的,所述铜盐为氯化铜、硫酸铜或硝酸铜;所述保护剂选自聚乙烯吡咯烷酮、十六烷基三甲基溴化铵、十二烷基磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠、明胶、聚乙烯醇、月桂酸和油酸中的一种或多种;所述还原剂为水合肼、双氧水、抗坏血酸、甲醛、葡萄糖、多元醇、硼氢化钠、次亚磷酸钠或有机胺。
优选的,所述纳米二氧化硅的尺寸为1~100nm。
本申请还提供了一种Cu/SiO2复合材料,包括纳米二氧化硅和附着在所述纳米二氧化硅表面的纳米铜。
优选的,所述Cu/SiO2复合材料的尺寸为1~200nm。
本申请还提供了一种铜-陶瓷基板的制备方法,包括以下步骤:
将Cu/SiO2复合材料与有机溶剂混合,得到纳米铜膏;所述 Cu/SiO2复合材料为上述方案所述的制备方法所制备的或上述方案所述的Cu/SiO2复合材料;
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