[发明专利]一种用于TFT‑LCD光刻胶高效清洗剂在审
| 申请号： | 201710851484.4 | 申请日： | 2017-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN107608182A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 白航空 | 申请（专利权）人： | 合肥惠科金扬科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 tft lcd 光刻 高效 洗剂 | ||
1.一种用于TFT-LCD光刻胶高效清洗剂，其特征在于，其是由以下质量百分比的原料组成：季铵氢氧化物7-18％、吡咯烷酮类溶剂5-14％、季戊四醇2-3％、醇胺9-12％、间苯二酚5-8％、表面活性剂1-3％以及有机溶剂65-70％。
2.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD光刻胶高效清洗剂，其特征在于：所述季铵氢氧化物选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、甲基三乙基氢氧化铵、羟乙基三甲基氢氧化铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD光刻胶高效清洗剂，其特征在于：所述吡咯烷酮类溶剂选自N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-羟乙基吡咯烷酮和N-环己基吡咯烷酮中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD光刻胶高效清洗剂，其特征在于：所述醇胺选自单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、异丙醇胺、2-(二乙氨基)乙醇、乙基二乙醇胺和二甘醇胺中的一种或几种。
5.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD光刻胶高效清洗剂，其特征在于：所述表面活性剂为聚乙烯吡咯烷酮。
6.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD光刻胶高效清洗剂，其特征在于：所述有机溶剂选自亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醇醚中的一种或多种。
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