[发明专利]一种单晶炉拉晶生产工艺及单晶炉极限真空值获得方法

权利要求书

1.一种单晶炉拉晶生产工艺，包括以下步骤：

1)、测得单晶炉抽真空m分钟时极限真空值，其中，m＜n，n为常规单晶炉拉晶生产抽真空时间；

2)、单晶炉装料合炉后，抽真空m分钟，检测炉内真空值，若该检测值≤极限真空值，则炉体密封合格，生产继续，若该检测值＞极限真空值，则炉体密封不合格，需要对炉体进行测漏检修，直至炉体密封合格后进行后续生产；

所述单晶炉极限真空值获得方法，包括以下步骤：

(21)、通过第一炉拉晶生产获得首次真空值，包括步骤：

a、将物料装入炉体内，合炉后将单晶炉抽真空m分钟，通过炉内的真空度检测仪检测并记录检测数值；

b、对该单晶炉充常压，再次对该炉抽真空n分钟，通过炉内的真空度检测仪测漏，若单晶炉漏率≤设计要求值，该单晶炉密封合格，继续拉晶后续生产，所记录检测数值即为首次真空值；若单晶炉漏率＞设计要求值,查找漏点检修，然后重复步骤a和步骤b直至获得炉体首次真空值；

(22)、通过第二炉生产校正首次真空值：

将物料放入炉体内，合炉后抽真空m分钟，通过炉内真空度检测仪检测此时炉内真空度，并进行记录，该值为校正值，若该校正值≤首次真空值，说明单晶炉密封合格，则将该校正值定为单晶炉极限真空值，继续拉晶后续生产；若校正值＞首次真空值，则需要以下操作校正：

将单晶炉充常压，对该炉抽真空n分钟，通过炉内的真空度检测仪测漏，若漏率≤设计要求值，该单晶炉密封合格，继续拉晶后续生产，将该校正值定为单晶炉极限真空值；若漏率＞设计要求值,查找漏点检修，然后重复该步骤(22)直至确定出炉体的极限真空值；

还包括检验步骤(23)，通过第三炉生产时检验步骤(22)，该步骤(23)重复步骤(22)，实现对步骤(22)所得校正值进行校验。

2.根据权利要求1所述的单晶炉拉晶生产工艺，其特征在于：当单晶炉数量较多时，调整各个单晶炉内真空度检测仪0点位置，使各个单晶炉极限真空值校准为相同指示值。

3.根据权利要求2所述的单晶炉拉晶生产工艺，其特征在于：所述单晶炉极限真空值校准值为15mtorr。

4.根据权利要求1所述的单晶炉拉晶生产工艺，其特征在于：所述漏率为50mtorr/h。