[发明专利]硅片烘槽在审
| 申请号： | 201710866258.3 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN107478007A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 陈宏 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/02;F26B25/08 |
| 代理公司： | 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙)32304 | 代理人： | 马丽丽 |
| 地址： | 215618 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片烘槽，其特征在于，包括内箱体与外箱体，所述内箱体位于所述外箱体内部，所述内箱体与外箱体之间形成有一间隔空间，所述内箱体与外箱体均具有向上的开口，且开口大小相同，所述内箱体内部形成有容纳硅片花篮的槽体，所述内箱体至少1个侧面均匀布设有第一气孔，所述间隔空间内安装设置有加热管，所述加热管正对所述第一气孔，所述内箱体底面均匀布设有第二气孔，所述间隔空间内安装设置有至少一台离心风机，所述离心风机轴向垂直于所述内箱体底面，所述外箱体侧面顶部向外形成有折边，所述外箱体侧面上部向外凸伸有支撑面板，所述外箱体于开口处设置有箱盖。
2.根据权利要求1所述的硅片烘槽，其特征在于，所述离心风机设置有两台。
3.根据权利要求1所述的硅片烘槽，其特征在于，所述第一气孔均匀布设于所述内箱体相对的两个侧面上。
4.根据权利要求1所述的硅片烘槽，其特征在于，还包括一温控管，所述温控管设置于所述间隔空间内。
5.根据权利要求1所述的硅片烘槽，其特征在于，所述离心风机通过耐高温马达驱动，所述耐高温马达设置于所述外箱体下方。
6.根据权利要求1所述的硅片烘槽，其特征在于，所述折边向下翻折。
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