[发明专利]一种晶体硅太阳能电池热氧工艺

权利要求书

1.一种晶体硅太阳能电池热氧工艺，其特征在于:经过刻蚀后，在硅片绒面上制备一层二氧化硅致密的氧化膜。

2.如权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池热氧工艺，其特征在于:所述二氧化硅致密的氧化膜是使用热氧炉进行热氧工艺制备而成。

3.如权利要求2 所述的一种晶体硅太阳能电池热氧工艺，其特征在于，所述热氧工艺包括以下步骤：

(1)将硅片进行制绒、扩散、刻蚀；

(2)将刻蚀后的硅片在热氧炉中进行热氧工艺，使硅片绒面在热氧工艺中氧化得到2-12nm的二氧化硅致密的氧化膜；

(3)将制备好的硅片进行PECVD镀膜,丝网正反面电极印刷，烧结、测试。

4.如权利要求3所述的一种晶体硅太阳能电池热氧工艺，其特征在于：步骤（3）中的热氧工艺控制氧气流量为1-5L/min，氮气为5-30L/min，时间为10-30min。

5.如权利要求2所述的一种晶体硅太阳能电池热氧工艺，其特征在于热氧工艺共9个步骤，分别为：（1)准备阶段；（2）进舟阶段；（3）出舟阶段；（4）检漏阶段；（5）加热阶段；(6）热氧化阶段；(7）冷却阶段；(8）进舟阶段；(9)出舟阶段。