[发明专利]一种晶体硅太阳能电池热氧工艺

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能光伏技术领域，特别是涉及一种晶体硅太阳能电池热氧工艺。

背景技术

近年来，太阳能电池片生产技术不断进步，生产成本不断降低，转换效率不断提高，使得光伏发电的应用日益普及并迅猛发展，逐渐成为电力供应的重要来源。太阳能电池片可以在阳光的照射下，把光能转换为电能，实现光伏发电。

太阳能电池片的生产工艺比较复杂，简单说来，太阳能电池的制作过程主要包括：制绒、扩散、刻蚀、热氧、PECVD镀膜、丝网印刷和烧结、测试等。太阳电池片是一种将光能转换成电能的电池片,它对光的吸收和利用直接决定着转换效率和输出功率. 为了提高晶体硅太阳电池对光的吸收,减少光在硅片表面的反射,通常采取表面织构以及沉积减反射薄膜的方法,从而改善电池片性能. 目前,工业化生产中常采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD) 系统在硅片表面沉积氮化硅薄膜,但是氮化硅与晶体硅界面由于晶格失配严重,会导致严重的界面复合,其性质远不如二氧化硅和晶体硅 . 为同时达到比较理想的钝化和减反效果,采用热氧工艺低温生长二氧化硅薄膜, 然后再PECVD 沉积氮化硅膜,优化的二氧化硅、氮化硅双层膜能起到钝化和减反射的双重作用,明显改善太阳电池对光的吸收利用和光生载流子的输出。因此，提出一种在刻蚀后硅片表面制备一层均匀性，致密性较好的氧化层的方法，对提高钝化和减反射的作用，最终提高太阳能电池转化效率显得尤为重要。

发明内容

一种晶体硅太阳能电池热氧工艺，:经过刻蚀后，在硅片绒面上制备一层二氧化硅致密的氧化膜。

一种晶体硅太阳能电池热氧工艺:所述二氧化硅致密的氧化膜是使用热氧炉进行热氧工艺制备而成。

一种晶体硅太阳能电池热氧工艺：所述热氧工艺包括以下步骤：

(1)将硅片进行制绒、扩散、刻蚀。

(2)将刻蚀后的硅片在热氧炉中进行热氧工艺，使硅片绒面在热氧工艺中氧化得到2-12nm的二氧化硅致密的氧化膜。

(3)将制备好的硅片进行PECVD镀膜,丝网正反面电极印刷，烧结、测试。

4. 一种晶体硅太阳能电池热氧工艺：步骤（3）中的热氧工艺控制氧气流量为1-5L/min，氮气为5-30L/min，时间为10-30min。

5.一种晶体硅太阳能电池热氧工艺热氧工艺共9个步骤，分别为：（1)准备阶段；（2）进舟阶段；（3）出舟阶段；（4）检漏阶段；（5）加热阶段；(6）热氧化阶段；(7）冷却阶段；(8）进舟阶段；(9)出舟阶段。

具体实施方式

实施例1：

一种晶体硅太阳能电池热氧工艺：取硅片电阻率为1-3Ω.cm， 156.75mmX156.75mm 规格的P型多晶硅片500pcs，将硅片进行制绒、扩散、刻蚀，上述步骤中关闭臭氧发生器，将刻蚀后的硅片在热氧炉中进行热氧工艺，使硅片绒面在热氧工艺中氧化形成氧化膜，热氧工艺的氧气流量为1.2L/min，氮气流量为8L/min，时间为16min，将制备好的硅片进行PECVD镀膜,丝网正反面电极印刷，烧结，测试。

实施例2

一种晶体硅太阳能电池热氧工艺：取硅片电阻率为1-3Ω.cm 156.75mmX156.75mm 规格的P型多晶硅片500pcs，将硅片进行制绒、扩散、刻蚀，上述步骤中关闭臭氧发生器，将刻蚀后的硅片在热氧炉中进行热氧工艺，使硅片绒面在热氧工艺中氧化形成氧化膜，热氧工艺的氧气流量为1L/min，氮气流量为5L/min，时间为10min，将制备好的硅片进行PECVD镀膜,丝网正反面电极印刷，烧结，测试。

实施例3

一种晶体硅太阳能电池热氧工艺：取硅片电阻率为1-3Ω.cm ，156.75mmX156.75mm 规格的P型多晶硅片500pcs，将硅片进行制绒、扩散、刻蚀，上述步骤中关闭臭氧发生器，将刻蚀后的硅片在热氧炉中进行热氧工艺，使硅片绒面在热氧工艺中氧化形成氧化膜，热氧工艺的氧气流量为5L/min，氮气流量为30L/min，时间为30min，将制备好的硅片进行PECVD镀膜,丝网正反面电极印刷，烧结，测试。

实施例4