[发明专利]薄膜准直器及其形成方法

说明书

提供一种薄膜准直器，包含具有光电二极管的基底。上述薄膜准直器亦包含设置于基底上的干涉型滤光膜以及吸收型滤光膜。其中当第一光线以相对于基底的上表面的法线的第一角度入射时，干涉型滤光膜在第一波段的穿透率大于50％，且当第二光线以相对于基底的上表面的法线的第二角度入射时，干涉型滤光膜在第二波段的穿透率大于50％，吸收型滤光膜在第三波段的穿透率大于50％，且其中第一波段与第三波段部份重叠，第二波段不与第三波段重叠，且第二角度大于第一角度。

技术领域

本发明有关于薄膜准直器，特别是有关于可运用光学指纹辨识装置的薄膜准直器。

背景技术

物体成像可被使用于各种应用中。举例而言，指纹辨识系统可用于认证及/或验证包含这些辨识系统的装置的使用者。指纹辨识系统提供了提供了一种可靠且为非侵入性的方式来验证个人身份。

传统的指纹辨识系统是由大量的光学元件组成，上述光学元件例如为分束器、准直器、聚焦镜和线性感测器。虽然传统的指纹辨识系统对于一般可预期的目的来说是足够的，但它们在各方面并不完全令人满意。

例如，在传统准直器中经常发生交扰现象，导致指纹辨识系统的可靠度变差。因此，提供改进准直器的方法是值得被探讨的。

发明内容

根据本发明一些实施例，提供一种薄膜准直器。上述薄膜准直器包含具有光电二极管的基底，且包含设置于基底上的第一遮光层。上述薄膜准直器亦包含对应于光电二极管的开口。上述薄膜准直器更包含设置于基底与第一遮光层之间的干涉型滤光膜以及设置于基底上的吸收型滤光膜。其中当第一光线以相对于基底的上表面的法线的第一角度入射时，干涉型滤光膜在第一波段的穿透率大于50％，且当第二光线以相对于基底的上表面的法线的第二角度入射时，干涉型滤光膜在第二波段的穿透率大于50％，吸收型滤光膜在第三波段的穿透率大于50％，且其中第一波段与第三波段部份重叠，第二波段不与第三波段重叠，且第二角度大于第一角度。

根据本发明一些实施例，提供一种薄膜准直器的形成方法。上述方法包含提供具有光电二极管的基底。上述方法包含设置第一遮光层于基底上，其中第一遮光层具有对应于光电二极管的开口。上述方法亦包含设置干涉型滤光膜于基底与第一遮光层之间以及设置吸收型滤光膜于基底上。其中当第一光线以相对于基底的上表面的法线的第一角度入射时，干涉型滤光膜在第一波段的穿透率大于50％，且当第二光线以相对于基底的上表面的法线的第二角度入射时，干涉型滤光膜在第二波段的穿透率大于50％，吸收型滤光膜在第三波段的穿透率大于50％，且其中第一波段与第三波段部份重叠，第二波段不与第三波段重叠，且第二角度大于第一角度。

附图说明

本发明的各种方式最好的理解方式为阅读以下说明书的详说明并配合所附附图。应该注意的是，本发明的各种不同部件并未依据工业标准作业的尺寸而绘制。事实上，为使说明书能清楚叙述，各种不同特征部件的尺寸可以任意放大或缩小。

图1是依据本发明一些实施例，薄膜准直器的剖面示意图；

图2是依据本发明一些实施例，薄膜准直器的剖面示意图；

图3是依据本发明一些实施例，薄膜准直器的剖面示意图；

图4A及4B是依据一些实施例，说明薄膜准直器的干涉型滤光膜和吸收型滤光膜的光学特性的穿透率对波长的曲线图；

图5是依据一些实施例，说明薄膜准直器的干涉型滤光膜和吸收型滤光膜的光学特性的穿透率对波长的曲线图；

图6是依据一些实施例，说明薄膜准直器的干涉型滤光膜和吸收型滤光膜的光学特性的穿透率对波长的曲线图；

图7是依据一些实施例，说明薄膜准直器的干涉型滤光膜和吸收型滤光膜的光学特性的穿透率对波长的曲线图；

图8是依据一些实施例，说明吸收型滤光膜的光学特性的穿透率对波长的曲线图；