[发明专利]喷射孔板的制造方法

权利要求书

1. 一种喷射孔板的制造方法，是形成有喷射液体的喷射孔的喷射孔板的制造方法，其特征在于，具有：

对所述喷射孔板的母材开成为所述喷射孔的多个孔的开孔工序；以及

修补所述多个孔之中，为所述液体的流通方向的下游开口的部分的孔径形成得比期望的孔径小的不良孔的修补工序，

所述修补工序对所述不良孔进行成为所述下游开口的部分的孔径比所述期望的孔径小，且比所述不良孔的孔径大的修补用孔径的开孔加工。

2.根据权利要求1所述的喷射孔板的制造方法，其特征在于，

所述开孔工序以及所述修补工序通过激光加工来进行。

3.根据权利要求1或2所述的喷射孔板的制造方法，其特征在于，

所述修补工序朝所述母材照射为平行射束的激光光。

4.根据权利要求1或2所述的喷射孔板的制造方法，其特征在于，

在所述修补工序中，从所述流通方向的下游侧朝所述母材照射射束直径随着去往出射方向的下游侧而逐渐扩大直径的激光光。

5.根据权利要求1或2所述的喷射孔板的制造方法，其特征在于，

在所述开孔工序与所述修补工序之间，具有检测所述不良孔的检查工序。

6.根据权利要求1所述的喷射孔板的制造方法，其特征在于，

所述修补工序具有：

修补用蚀刻掩模形成工序，形成修补用蚀刻掩模，该修补用蚀刻掩模在与所述母材之中所述不良孔对应的部分形成了所述修补用孔径的掩模开口；以及

修补用蚀刻工序，通过所述修补用蚀刻掩模进行蚀刻。