[发明专利]喷射孔板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及喷射孔板的制造方法。

背景技术

一直以来，作为对记录纸等被记录介质吐出液滴状的墨水，以对被记录介质记录图像、字符的装置，存在具备喷墨头的喷墨打印机。喷墨头具有促动器板和喷嘴板，促动器板形成有被填充墨水的通道，喷嘴板具有与通道内连通的喷嘴孔。在喷墨头中，通过促动器板以吐出通道内的容积扩大缩小的方式变形，通过喷嘴孔吐出填充在吐出通道内的墨水。

作为在喷嘴板形成喷嘴孔的方法，例如存在像专利文献1所记载的那样从既定方向对工件照射激光光以形成喷嘴孔的方法、通过蚀刻加工形成喷嘴孔的方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-203650号公报。

发明内容

发明要解决的问题

但是，若例如像专利文献1中公开的技术那样，通过激光加工形成喷嘴孔，则在母材中含有异物的情况下，存在激光被异物遮挡，无法将喷嘴孔形成为期望形状的风险。另外，在通过蚀刻加工形成喷嘴孔的情况下，若在通过光致抗蚀剂材料形成蚀刻掩模时在光掩模上存在异物，则该异物被转印到蚀刻掩模，存在无法将喷嘴孔形成为期望形状的风险。若如此喷嘴孔不形成为期望的形状，特别是喷嘴孔的下游开口的孔径形成得比期望的孔径小，则存在墨水的吐出方向从期望方向变化(偏向)的可能性。其结果，喷墨头的绘图品质降低。因而，在现有技术中，存在降低喷嘴孔孔径的偏差以用于使墨水的吐出方向稳定化的课题。

因此，本发明提供能够降低喷射孔孔径的偏差的喷射孔板的制造方法。

用于解决问题的方案

本发明的喷射孔板的制造方法，是形成有喷射液体的喷射孔的喷射孔板的制造方法，其特征在于，具有：对所述喷射孔板的母材开成为所述喷射孔的多个孔的开孔工序；以及修补所述多个孔之中，为所述液体的流通方向的下游开口的部分的孔径形成得比期望的孔径小的不良孔的修补工序，所述修补工序对所述不良孔进行成为所述下游开口的部分的孔径比所述期望的孔径小，且比所述不良孔的孔径大的修补用孔径的开孔加工。

根据本发明，在修补工序中，对不良孔进行比不良孔的孔径大的修补用孔径的开孔加工，因而能够以使不良孔的为下游开口的部分的孔径接近期望的孔径的方式修补不良孔。而且，由于在修补工序中，对不良孔进行比期望的孔径小的修补用孔径的开孔加工，故即使在开孔位置从期望的位置偏移的情况下，也能够抑制不良孔的为下游开口的部分比期望的孔径大地形成的情况。因而，能够降低喷射孔的孔径的偏差。

在上述喷射孔板的制造方法中，优选地，所述开孔工序以及所述修补工序通过激光加工来进行。

根据本发明，与通过蚀刻进行开孔加工的方法相比较，由于不需要形成蚀刻掩模，故能够容易地进行开孔工序以及修补工序。因而，能够削减喷射孔板的制造成本。

在上述喷射孔板的制造方法中，优选地，所述修补工序朝所述母材照射为平行射束的激光光。

根据本发明，不需要在照射发散或收敛的激光光的情况下需要的相对于母材的激光光的焦点位置的调整等，因而能够容易地进行修补工序。因而，能够削减喷射孔板的制造成本。

在上述喷射孔板的制造方法中，优选地，在所述修补工序中，从所述流通方向的下游侧朝所述母材照射射束直径随着去往出射方向的下游侧而逐渐扩大直径的激光光。

根据本发明，在形成随着去往液体的流通方向下游侧而逐渐缩小直径的锥状的孔的情况下，能够以沿着不良孔内表面的方式照射激光光。因此，能够以更加接近期望形状的方式修补不良孔。因而，能够进一步降低喷射孔的孔径的偏差。

在上述喷射孔板的制造方法中，优选地，在所述开孔工序与所述修补工序之间，具有检测所述不良孔的检查工序。

根据本发明，能够通过修补工序修补仅在检查工序中检测到的不良孔。因而，能够高效地进行修补工序，能够削减喷射孔板的制造成本。

在上述喷射孔板的制造方法中，优选地，所述修补工序具有：修补用蚀刻掩模形成工序，形成修补用蚀刻掩模，所述修补用蚀刻掩模在与所述母材之中所述不良孔对应的部分形成了所述修补用孔径的掩模开口；以及修补用蚀刻工序，通过所述修补用蚀刻掩模进行蚀刻。

根据本发明，由于通过形成了修补用孔径的掩模开口的修补用蚀刻掩模进行蚀刻，故能够以使不良孔的为下游开口的部分的孔径接近期望孔径的方式修补不良孔。因而，能够降低喷射孔的孔径的偏差。

发明效果