[发明专利]结构物有效
| 申请号： | 201710888647.6 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN108069717B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 芦泽宏明;清原正胜 | 申请（专利权）人： | TOTO株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/553 | 分类号： | C04B35/553;C04B35/622;C04B35/624 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;王玉玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种结构物，以具有斜方晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝32.0°检测到的峰值强度为γ，在衍射角2θ＝32.8°检测到的峰值强度为δ时，峰值强度比γ/δ为0％以上、107％以下。
2.根据权利要求1所述的结构物，其特征在于，所述结构物进一步包含钇氟化物的多晶体，
通过X射线衍射在衍射角2θ＝24.3°检测到的峰值强度为α，在衍射角2θ＝25.7°检测到的峰值强度为β时，峰值强度比α/β为0％以上、小于100％。
3.根据权利要求1或2所述的结构物，其特征在于，所述平均结晶尺寸小于50nm。
4.根据权利要求1或2所述的结构物，其特征在于，所述平均结晶尺寸小于30nm。
5.根据权利要求1或2所述的结构物，其特征在于，所述平均结晶尺寸小于20nm。
6.根据权利要求1所述的结构物，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝29.1°检测到的峰值强度为ε时，ε/δ小于1％。
7.根据权利要求2所述的结构物，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝29.1°检测到的峰值强度为ε时，ε/α为0％。
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