[发明专利]宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法

权利要求书

1.一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法，其特征在于，包括：步骤一、在制作宽带增透膜成品之前，进行预判断操作；

具体地，预判断操作包括以下步骤：

S11、建立宽带增透膜设计品的反射率R₁的计算公式，宽带增透膜设计品为按照设计的层状结构关系、各层设计材料以及各层设计厚度得到的理想宽带增透膜，R₁的计算公式如下：

其中，r₁为基板的反射系数；r₂为第一层膜层的反射系数；r₃为第二层膜层的反射系数；r₄为第三层膜层的反射系数，r_N+1为第N层膜层的反射系数；δ₁为第一层膜层向量角度；δ₂为第二层膜层的向量角；δ₃为第三层膜层的向量角，δ_N为第N层膜层的向量角；n₁为第一层膜层的折射率，d₁第一层膜层的设计厚度；n₂为第二层膜层的折射率，d₂第二层膜层的设计厚度；n₃为第三层膜层的折射率，d₃第三层膜层的设计厚度，n_N为第N层膜层的折射率，d_N为第N层膜层的设计厚度；N为基板上膜层的数量；λ₀为所要计算的波长点；

S12、首先命然后命λ₀＝10N₀；其中，λ₁为所需要透过光的最小波长且单位为nm，当为整数时，当有余数时，取小于的第一个整数；

S13、首先，计算N₀＝N₀+1，并重置λ₀＝10N₀；

S14、计算得到宽带增透膜设计品的反射率R₁；

S15、设计时目标宽带增透膜的反射率为R₀，判断宽带增透膜设计品的反射率R₁是否在范围(R₀-a,R₀+a)内，其中，a为允许误差值，若在范围内，则进行步骤S16；若不在范围内，则判断为此宽带增透膜的设计不正确；

S16、判断N₀是否等于λ₂为所需要透过光的最大波长且单位为nm，当为整数时，当有余数时，取大于的第一个整数；若是，则进行步骤S17；若否，则进行步骤S13；

S17、预判断结果为未发现设计错误，预判断操作结束。

2.根据权利要求1所述的宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法，其特征在于，当预判断结束后需进行以下步骤：

步骤二、按照层状结构关系、各层设计材料以及各层设计厚度制作得到宽带增透膜成品，具体包括以下步骤：

S21、将层状结构关系、各层设计材料以及各层设计厚度输入至石英晶体监控中，石英晶体监控预计出加工后得到的宽带增透膜成品各层的实际厚度；

S22、石英晶体监控将预计出的宽带增透膜成品各层的实际厚度代入至镀膜系统中的晶振膜厚仪中，晶振膜厚仪根据宽带增透膜成品各层的实际厚度监控镀膜系统运作，得到与宽带增透膜成品各层的实际厚度相等的宽带增透膜成品；

步骤三、用Uv-1800型分光光度计进行测量宽带增透膜成品的透光率R₂和反射率R₃；

步骤四、判断宽带增透膜成品的透光率R₂加上宽带增透膜成品的反射率R₃是否等于100％，若是，则进行步骤五；若否，则判断为宽带增透膜的设计不正确；

步骤五，判断宽带增透膜成品的反射率R₃是否在范围(R₀-a,R₀+a)内，若在范围内，则判断为宽带增透膜的设计正确；若不在范围内，则判断为宽带增透膜的设计不正确。