[发明专利]宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法有效

专利信息
申请号: 201710890519.5 申请日: 2017-09-27
公开(公告)号: CN107703625B 公开(公告)日: 2020-12-01
发明(设计)人: 周荣铿 申请(专利权)人: 湖北东田光电材料科技有限公司
主分类号: G02B27/00 分类号: G02B27/00;G02B1/11
代理公司: 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 代理人: 蒲艳紫
地址: 444100 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 宽带 增透膜 各膜层 设计 正确性 判断 方法
【说明书】:

发明提供了一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法,包括:步骤一、在制作宽带增透膜成品之前,进行预判断操作;预判断操作包括以下步骤:S11、建立宽带增透膜设计品的反射率R1的计算公式;S12、首先命然后命λ0=10N0;S13、首先计算N0=N0+1,然后重置λ0=10N0;S14、计算得到宽带增透膜设计品的反射率R1;S15、判断宽带增透膜设计品的反射率R1是否在范围(R0‑a,R0+a)内;S16、判断N0是否等于S17、预判断结果为未发现设计错误,预判断操作结束。宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法解决了现有技术中因需要制作出宽带增透膜成品来检测设计出的宽带增透膜的透过率和反射率而导致宽带增透膜的各膜层设计正确性判断工作耗时较长且增加成本的问题。

技术领域

本发明涉及宽带增透膜的镀制工艺,具体涉及一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法。

背景技术

首先,宽带增透膜的层状结构设计如下:宽带增透膜包括基板,基板上渡有第一层膜层,在第一层膜层上渡有第二层膜层,在第二层膜层上渡有第三层膜层,……,在第N-1层膜层上渡有第N层膜层;然后,设计第一层膜层、第二层膜层、……、第N-1层膜层以及第N层膜层各个层的材料各是什么(例如,第一层膜层材料是SiO2或Ti3O5等);最后设计第一层膜层、第二层膜层、……、第N-1层膜层以及第N层膜层各个层的厚度各是多少。最终目的是:经过宽带增透膜后的光达到预期的光谱,为了达到预期的光谱,体现的宽带增透膜的透过率和反射率,那么为了验证是否达到预期效果就直接判断宽带增透膜的透过率和反射率是否正确即可。

虽然现有技术有物理厚度(晶振)监控等无接触式方法来测量宽带增透膜成品中各个层的镀膜监控厚度(也即是:各个层的测量厚度);同时也能通过采用Uv-1800型等型号分光光度计来测量宽带增透膜成品的透过率和反射率。但是制备宽带增透膜成品需要成本和时间,因此给透过率和反射率的侧量带来极大的麻烦。

发明内容

本发明提供了一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法,解决了现有技术中因需要制作出宽带增透膜成品来检测设计出的宽带增透膜的透过率和反射率而导致宽带增透膜的各膜层设计正确性判断工作耗时较长且增加成本的问题。

为实现上述目的,本发明采用了如下的技术方案:

一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法,包括:步骤一、在制作宽带增透膜成品之前,进行预判断操作;

具体地,预判断操作包括以下步骤:

S11、建立宽带增透膜设计品的反射率R1的计算公式,宽带增透膜设计品为按照设计的层状结构关系、各层设计材料以及各层设计厚度得到的理想宽带增透膜,R1的计算公式如下:

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