[发明专利]一种用于12寸晶圆片的快速清洗槽

权利要求书

1.一种用于12寸晶圆片的快速清洗槽，其特征在于，将12寸晶圆片被放置在晶圆片载具内，当所述晶圆片载具放置在所述快速清洗槽内时，在对应所述晶圆片载具内晶圆片的两侧垂直方向上分别设置有3个喷淋管，

所述喷淋管的角度设置使得当水柱从喷淋管喷出时，水柱直接喷射到晶圆片的表面，

在所述晶圆片载具两侧设置的喷淋管的角度设置是对称的，以晶圆片载具为中心形成3对喷淋管，使得两侧喷淋管喷射到晶圆片表面的水柱呈现为对称状态，且形成覆盖晶圆片的3个清洗面。

2.如权利要求1所述的用于12寸晶圆片的快速清洗槽，其特征在于，在所述晶圆片载具两侧沿着晶圆片载具设置的喷淋管的数量对应所述晶圆片载具内装载的晶圆片的数量，保证每3对喷淋管对应一片晶圆片。

3.如权利要求1所述的用于12寸晶圆片的快速清洗槽，其特征在于，所述晶圆片载具安放在所述快速清洗槽底部的立柱上。