[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：

具备使用澄清管进行熔融玻璃的澄清的澄清步骤，

在所述澄清步骤中，一边以在所述熔融玻璃的液面上方形成气相空间的方式使所述熔融玻璃流到所述澄清管内，一边进行所述澄清，

所述澄清管由包含铂族金属的材料构成，具有沿所述熔融玻璃的流动方向延伸的筒状的壁部，在与所述气相空间相接的所述壁部的部分，具有将所述气相空间内的气体排出的通气孔及将对于所述熔融玻璃为惰性的气体导引到所述气相空间内的导入孔，所述通气孔及所述导入孔在所述熔融玻璃的所述流动方向上相互隔开而配置，

在所述澄清步骤中，使所述惰性气体滞留在与所述导入孔相邻的所述澄清管的外侧的外部空间，通过使所述气体从所述通气孔排出，而将所述外部空间内的所述惰性气体引入到所述气相空间内，并使它沿所述熔融玻璃的所述流动方向流动，

在所述导入孔所在的所述壁部的部分连接有供所述外部空间内的所述惰性气体向所述气相空间内流动的导入管，在与所述壁部的侧为反侧的所述导入管的端，以堵塞所述惰性气体的流路的方式配置有盖，所述盖设置有连通所述外部空间与所述导入管内的孔，

所述外部空间以包围所述导入孔及所述导入管的方式形成，

所述惰性气体是从供给管供给到所述外部空间内，碰撞到所述盖，因而滞留在所述外部空间内，所述供给管与供给所述惰性气体的惰性气体供给装置连接，从所述导入管的所述端隔开而配置。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中所述惰性气体是以溶解于所述熔融玻璃的量与从所述导入孔喷射到所述气相空间内的情况相比减少的方式被引入。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中

在所述澄清步骤中，使用所述熔融玻璃中包含的澄清剂进行所述澄清，

所述澄清管沿着所述流动方向具有第1加热区域及第2加热区域，所述第1加热区域是将所述熔融玻璃加热，以促进所述熔融玻璃的消泡，所述第2加热区域是将所述熔融玻璃加热，以促进在所述消泡后残留的气泡吸收到所述熔融玻璃中，

所述导入孔配置在所述第2加热区域。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述外部空间是由以从所述澄清管的外侧包围所述导入孔及所述导入管的方式配置且由耐火性材料构成的部件以及所述澄清管所划定的空间。

5.一种玻璃基板制造装置，其特征在于具备：

澄清管，一边以在熔融玻璃的液面上方形成气相空间的方式使所述熔融玻璃流到所述澄清管内，一边进行所述澄清，且由包含铂族金属的材料构成，具有沿所述熔融玻璃的流动方向延伸的筒状的壁部，在与所述气相空间相接的所述壁部的部分，具有将所述气相空间内的气体排出的通气孔及将对所述熔融玻璃为惰性的气体导引到所述气相空间内的导入孔，所述通气孔及所述导入孔在所述熔融玻璃的所述流动方向上相互隔开而配置；

包围部，以从所述澄清管的外侧包围所述导入孔的方式配置，由耐火性材料构成；

惰性气体供给装置，将所述惰性气体供给到所述包围部内；

抽吸装置，从所述通气孔抽吸所述气体而使它排出；以及

控制装置，以通过使所述气体从所述通气孔排出而将所述包围部内的所述惰性气体引入到所述气相空间内并使它沿所述熔融玻璃的所述流动方向流动的方式，控制所述抽吸装置，

在所述导入孔所在的所述壁部的部分连接有供所述包围部内的所述惰性气体向所述气相空间内流动的导入管，在与所述壁部的侧为反侧的所述导入管的端，以堵塞所述惰性气体的流路的方式配置有盖，所述盖设置有连通所述包围部内的空间与所述导入管内的孔，

所述包围部除了包围所述导入孔外，还以包围所述导入管的方式配置，

所述惰性气体是从供给管供给到所述包围部内的空间内，碰撞到所述盖，因而滞留在所述包围部内的空间内，所述供给管与所述惰性气体供给装置连接，从配置有所述盖的所述导入管的所述端隔开而配置。