[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置

说明书

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。本发明抑制铂族金属在澄清管内凝聚并且抑制在澄清后的熔融玻璃内产生气泡。玻璃基板的制造方法具备使用澄清管进行熔融玻璃的澄清的澄清步骤。在澄清步骤中，一边以在熔融玻璃的液面上方形成气相空间的方式使熔融玻璃流到澄清管内，一边进行澄清。澄清管由包含铂族金属的材料构成，在与气相空间相接的壁部，具有将气相空间内的气体排出的通气孔及将对于熔融玻璃为惰性的气体导引到气相空间内的导入孔，通气孔及导入孔在熔融玻璃的流动方向上相互隔开而配置。在澄清步骤中，使惰性气体滞留在与导入孔相邻的澄清管的外侧的外部空间，通过使气体从通气孔排出，而将外部空间内的惰性气体引入到气相空间内，并使它沿熔融玻璃的流动方向流动。

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置。

背景技术

一般来说，玻璃基板经由从玻璃原料生成熔融玻璃之后使熔融玻璃成形为玻璃基板的步骤而制造。在所述步骤中，包括将熔融玻璃所内包的微小气泡去除的步骤(以下，也称为澄清)。澄清是通过如下操作来进行：一边将澄清槽的主体(澄清管)加热，一边使调配有澄清剂的熔融玻璃通过该澄清管，利用澄清剂的氧化还原反应将熔融玻璃中的气泡除掉。更具体来说，进一步提高经粗熔解的熔融玻璃的温度以使澄清剂发挥功能而使气泡浮起消泡之后，使温度下降，由此，使未完全消泡而残留的相对较小的气泡吸收到熔融玻璃中。也就是说，澄清包括使气泡浮起消泡的消泡处理以及使小泡吸收到熔融玻璃中的吸收处理。

与成形前的高温熔融玻璃相接的部件的内壁必须根据与该部件相接的熔融玻璃的温度、所要求的玻璃基板的品质等而由适当的材料构成。例如，构成所述澄清管的材料通常使用铂、铂合金等铂族金属(专利文献1)。铂族金属的熔点高，对熔融玻璃的耐蚀性也优异。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-111533号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

存在熔融玻璃通过将铂族金属用于内壁面的澄清管时，在经加热的内壁面中之与气相空间相接的部分，铂族金属被氧化、挥发的情况。另一方面，存在铂族金属的氧化物在局部地温度降低的澄清管的位置被还原而附着在内壁面的情况。有附着在内壁面的铂族金属掉落而混入到熔融玻璃中并作为异物残留在玻璃基板内的担忧。有包含这种异物的玻璃基板被作为缺陷品处理的担忧。

众所周知，为了抑制这种铂族金属的挥发，而使惰性气体流入澄清管内以使氧浓度下降。但是，已知由于使惰性气体流通，而存在澄清后的熔融玻璃中产生气泡的情况。存在这种气泡残留在玻璃基板中而被作为光学缺陷处理的情况，而有使玻璃基板的良率降低的担忧。

本发明的目的在于抑制铂族金属在澄清管内凝聚并且抑制在澄清后的熔融玻璃内产生气泡。

[解决问题的手段]

本发明提供下述(1)～(7)。

(1)一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：

具备使用澄清管进行熔融玻璃的澄清的澄清步骤，

在所述澄清步骤中，一边以在所述熔融玻璃的液面上方形成气相空间的方式使所述熔融玻璃流到所述澄清管内，一边进行所述澄清，

所述澄清管由包含铂族金属的材料构成，在与所述气相空间相接的壁部，具有将所述气相空间内的气体排出的通气孔及将对于所述熔融玻璃为惰性的气体导引到所述气相空间内的导入孔，所述通气孔及所述导入孔在所述熔融玻璃的流动方向上相互隔开而配置，

在所述澄清步骤中，使所述惰性气体滞留在与所述导入孔相邻的所述澄清管的外侧的外部空间，通过使所述气体从所述通气孔排出，而将所述外部空间内的所述惰性气体引入到所述气相空间内，并使它沿所述熔融玻璃的流动方向流动。