[发明专利]一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置及其拆卸方法

权利要求书

1.一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置，所述冷却设备包括冷却水管，其特征在于，包括：

两个密封结构，所述密封结构包括刀口法兰组件、套筒以及设于所述套筒内的密封垫圈组件，所述刀口法兰组件的第一端面无缝连接于真空腔室的外侧壁，所述刀口法兰组件的第二端面与所述套筒的第一端口边缘无缝连接；所述刀口法兰组件包括多个刀口法兰，相邻两个所述刀口法兰的端面之间可拆卸地连接；

所述冷却水管依次穿过一个所述密封结构的密封垫圈组件、刀口法兰组件进入真空腔室内部，然后穿过另一个所述密封结构的刀口法兰组件和密封垫圈组件；

所述密封垫圈组件包括自套筒第二端口至套筒第一端口依次沿套筒轴向设置的第一垫片、密封圈组件和第二垫片。

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述密封结构还包括波纹管，所述波纹管的两端敞口以供所述冷却水管通过，所述刀口法兰组件的第二端面与所述波纹管的第一端口边缘无缝连接，所述波纹管的第二端口边缘与所述套筒的第一端口边缘无缝连接。

3.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述套筒的第一端口口径小于套筒的第二端口口径，所述套筒的第二端口边缘可拆卸地连接有用于向密封垫圈组件提供压力的压紧法兰。

4.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述密封圈组件包括沿套筒轴向设置的第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈和第二密封圈之间设有挡圈。

5.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述刀口法兰组件包括两个刀口法兰，两个所述刀口法兰之间通过螺栓进行连接，且两个所述刀口法兰之间设有垫片。

6.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述冷却设备还包括设于真空腔室内部的水冷板，所述水冷板内开设有水道，所述冷却水管穿过所述水道，并与所述水道的内壁无缝连接。

7.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述真空腔室的外侧壁上开设有通孔，所述刀口法兰组件的第一端面与所述通孔边缘无缝连接。

8.根据权利要求1～7任一项所述的密封装置，其特征在于，所述无缝连接的方式均为焊接。

9.一种权利要求1～8任一项所述密封装置的拆卸方法，其特征在于，将相邻两个刀口法兰之间的连接处拆开，即可将所述套筒和密封圈组件从所述真空腔室上拆除。