[发明专利]一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置及其拆卸方法

说明书

本发明属于真空镀膜设备领域，尤其涉及一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置及其拆卸方法。该装置包括两个密封结构和一个冷却设备；密封结构包括刀口法兰组件、套筒以及设于套筒内的密封垫圈组件，刀口法兰组件的第一端面无缝连接于真空腔室的外侧壁，刀口法兰组件的第二端面与套筒的第一端口边缘无缝连接；刀口法兰组件包括多个可拆卸连接的刀口法兰；冷却设备包括冷却水管，冷却水管依次穿过两个密封结构。该拆卸方法为将相邻两个刀口法兰之间的连接处拆开，即可将套筒和密封圈组件从真空腔室上拆除。本发明的密封结构设于真空腔室外部，密封结构与冷却设备彼此独立，任何一者需拆装维护时，都可以单独操作，灵活方便，彼此间不存在干扰。

技术领域

本发明属于真空镀膜设备领域，涉及一种冷却水路进出真空腔室的技术，尤其涉及一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置及其拆卸方法。

背景技术

现有真空镀膜设备中，水路进出真空腔室的方式是将进出腔室部分的管路与带有刀口的法兰盲板焊接为一个整体，法兰盲板与腔室上的刀口法兰用螺栓连接，实现密封。在腔室内部，进出腔室的管路可以通过卡套接头、VCR接头等形式与水冷板或者其他管路相连接。由于腔室内部水路密封可靠性要求高，因此在腔室内部的卡套接头或者VCR接头等零部件必须要保证良好的密封性，否则一旦安装维护出现疏漏或者零部件失效都有可能导致密封失效，使得冷却水泄漏并进入真空腔室，这样很容易造成停机故障。一般真空腔室内部需要多处水路接头，若出现微渗的情况，故障不易排查，难以准确判定泄漏位置。

同时，为了保证腔室内部水路的密封性安全可靠，需要定期对腔室内部的VCR接头、卡套接头等零部件进行定期的维护更换，每次水路拆装维护都需要更换新的密封件，并进行检漏测试，工作量大。维护、拆卸水路时，需要将整个腔体打开，先在腔体内部将水路的连接部位拆除，然后再将腔室外部的法兰拆除。真空腔室内部结构紧凑，需要足够的操作空间才能对水路接头进行拆装维护。而且刀口法兰、卡套接头或者VCR接头任一部件出现损坏需要更换时，需将整个水路进出腔室部分进行拆卸、更换，维护成本高。

为了使安装维护更加方便，不可避免的需要延长水路在腔室内部的长度，使得腔室内部更加拥挤。真空腔室装配的工作量和难度都很大，并且每次拆装都需要进行真空检测，以确保密封可靠。打开腔室需要使用吊车或其它吊具进行作业，非常繁重。而且设备固定以后再进行移动，难以保证设备结构参数的稳定。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的是现有真空腔室中的密封和冷却装置拆装维护不便的技术问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置，所述冷却设备包括冷却水管，所述密封装置包括：

两个密封结构，所述密封结构包括刀口法兰组件、套筒以及设于所述套筒内的密封垫圈组件，所述刀口法兰组件的第一端面无缝连接于真空腔室的外侧壁，所述刀口法兰组件的第二端面与所述套筒的第一端口边缘无缝连接；所述刀口法兰组件包括多个刀口法兰，相邻两个所述刀口法兰的端面之间可拆卸地连接；

所述冷却水管依次穿过一个所述密封结构的密封垫圈组件、刀口法兰组件进入真空腔室内部，然后穿过另一个所述密封结构的刀口法兰组件和密封垫圈组件；由此形成了冷却水在真空腔室内的循环进出。

进一步地，所述密封结构还包括波纹管，所述波纹管的两端敞口以供所述冷却水管通过，所述刀口法兰组件的第二端面与所述波纹管的第一端口边缘无缝连接，所述波纹管的第二端口边缘与所述套筒的第一端口边缘无缝连接。

优选的，所述刀口法兰组件、波纹管和套筒同轴设置。

进一步地，所述套筒的第一端口口径小于套筒的第二端口口径，所述套筒的第二端口边缘可拆卸地连接有用于向密封垫圈组件提供压力的压紧法兰。