[发明专利]光线透过窗集成装置及采用该装置的设备有效
申请号: | 201710899992.X | 申请日: | 2017-09-28 |
公开(公告)号: | CN107677686B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 王学勇;陈艳;焦士搏;闫俊伟 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94;H01L21/67 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光线 透过 集成 装置 采用 设备 | ||
1.一种光线透过窗集成装置,其特征在于,包括:
基座,设置于待安装的加工设备的内部,所述基座贯通相对的第一端面和第二端面设置有光线传输通路;
具有预设透明度的窗体,固定设置于所述第一端面,并盖设于所述光线传输通路上;所述窗体用于设置于待安装的加工设备的设备壳体的开口处,封闭所述开口;
光源,设置于所述基座的内部,且所发出光线能够通过所述光线传输通路传输至所述窗体;
图像采集部件,设置于所述窗体远离所述基座的一侧;
气体吹出结构,用于在所述窗体远离所述基座的一侧吹出气体,且使所吹出气体以平行于所述窗体的第一表面的方向通过所述第一表面,其中所述第一表面为所述窗体远离所述第一端面的表面。
2.根据权利要求1所述的光线透过窗集成装置,其特征在于,所述光线透过窗集成装置还包括:
安装架体,所述图像采集部件通过一移动驱动结构安装于所述安装架体上;通过所述移动驱动结构,所述图像采集部件能够在所述窗体远离所述基座的一侧,相对于所述窗体在一个平面内移动。
3.根据权利要求2所述的光线透过窗集成装置,其特征在于,所述移动驱动结构包括:
丝杠和与所述丝杠配合连接的滑块,其中所述图像采集部件固定于所述滑块上;
驱动马达,与所述丝杠连接,所述驱动马达通过驱动所述丝杠转动,所述滑块带动所述图像采集部件沿所述丝杠移动。
4.根据权利要求1所述的光线透过窗集成装置,其特征在于,所述光线透过窗集成装置还包括:
排气结构,包括与所述气体吹出结构相对设置的排气管路,其中所述气体吹出结构所吹出气体通过所述第一表面后,进入所述排气管路。
5.根据权利要求1所述的光线透过窗集成装置,其特征在于,所述气体吹出结构与所述基座一体连接,内部设置有多条吹气管路,且每一所述吹气管路的出气口沿所述第一表面的其中一边缘排列。
6.根据权利要求1所述的光线透过窗集成装置,其特征在于,所述基座形成为一盒体结构,所述第一端面上开设有与所述窗体的形状和大小对应的第一开孔,所述第二端面上开设有长条形的第二开孔;在所述基座内部,所述第一开孔到所述第二开孔的空间形成为所述光线传输通路。
7.根据权利要求6所述的光线透过窗集成装置,其特征在于,在所述基座的内部,所述基座的相对两个侧壁上分别设置有多个所述光源。
8.一种加工设备,包括设备壳体,其特征在于,所述加工设备还包括权利要求1至7任一项所述的光线透过窗集成装置,其中所述设备壳体上设置有开口,所述基座设置于所述设备壳体的内部,所述窗体设置于所述开口处,并封闭所述开口。
9.根据权利要求8所述的加工设备,其特征在于,所述加工设备还包括激光发射结构,设置于所述设备壳体的外部,所述激光发射结构用于通过所述窗体朝所述设备壳体的内部传输激光束;其中所述图像采集部件安装于所述激光发射结构上。
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