[发明专利]光线透过窗集成装置及采用该装置的设备

说明书

本发明提供一种光线透过窗集成装置及采用该装置的设备。该光线透过窗集成装置包括：基座，所述基座贯通相对的第一端面和第二端面设置有光线传输通路；具有预设透明度的窗体，固定设置于所述第一端面，并盖设于所述光线传输通路上；光源，设置于所述基座的内部，且所发出光线能够通过所述光线传输通路传输至所述窗体；图像采集部件，设置于所述窗体远离所述基座的一侧。该装置通过设置图像采集部件，在光源所提供照明时，利用图像采集部件能够拍摄获得窗体的清晰图像，用于实现对窗体的表面洁净度检测，检测过程简单、方便。

技术领域

本发明涉及产品制造技术领域，尤其是指一种光线透过窗集成装置及采用该装置的设备。

背景技术

随着平面显示器的兴起，低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon，简称LTPS)技术已成为高画质显示器的代名词。近年，各大面板厂商相继投产大视代LTPS生产线，低温多晶硅技术发展迅速、前景良好。

在LTPS制作工艺中，准分子激光退火(Excimer Laser Annel，简称ELA)为不必可少的工艺过程，因此ELA设备为LTPS制作工艺的必要设备。

通常，ELA设备上设置有退火窗口，安装在ELA设备的上部，用于实现密封并使退火用激光透过。激光传输进入ELA设备的内部，对内部设置的玻璃基板进行退火处理。随着ELA设备的长时间使用，激光透过退火窗口的累计时间增加，逐渐会在退火窗口的表面形成污染，此外由于退火窗口裸露在外部，同时也会有杂质飘落到退火窗口上，从而影响退火工艺的处理效果。因此在进行准分子激光退火时，需要掌握退火窗口的洁净度情况，以免其洁净度不佳时，影响最终退火工艺的效果。

目前进行退火窗口洁净度检测的过程繁琐，首先需要手动操作ELA设备使其上升，与下部密封圈分离，然后松开螺栓将退火窗口取下，检查洁净度后再装回。此外，退火窗口的价格昂贵，设备安装位置较高，频繁取放会使部件损坏的危险性增加。

因此，有必要设计一种窗口检测装置，以使得上述设置结构的退火窗口的检测过程简单、方便，避免频率拆装窗口，造成损坏。

发明内容

本发明技术方案的目的是提供一种光线透过窗集成装置及采用该装置的设备，用于解决现有技术密封设备上所设置窗口的检测过程较为繁琐的问题。

本发明实施例提供一种光线透过窗集成装置，其中，包括：

基座，所述基座贯通相对的第一端面和第二端面设置有光线传输通路；

具有预设透明度的窗体，固定设置于所述第一端面，并盖设于所述光线传输通路上；

光源，设置于所述基座的内部，且所发出光线能够通过所述光线传输通路传输至所述窗体；

图像采集部件，设置于所述窗体远离所述基座的一侧。

优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述光线透过窗集成装置还包括：

安装架体，所述图像采集部件通过一移动驱动结构安装于所述安装架体上；通过所述移动驱动结构，所述图像采集部件能够在所述窗体远离所述基座的一侧，相对于所述窗体在一个平面内移动。

优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述移动驱动结构包括：

丝杠和与所述丝杠配合连接的滑块，其中所述图像采集部件固定于所述滑块上；

驱动马达，与所述丝杠连接，所述驱动马达通过驱动所述丝杠转动，所述滑块带动所述图像采集部件沿所述丝杠移动。

优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述光线透过窗集成装置还包括：