[发明专利]活塞式稳压泵

权利要求书

1.一种活塞式稳压泵，其特征在于：包含：

一壳体，壳体内有两个活塞及两个风囊，呈水平对称分布；活塞连接风囊并做往复运动，两活塞中间为药液腔室，活塞往复运动以推动两活塞前端的药液；在药液腔室中具有药液的进口及出口，在壳体的出口上方处还安装有膜片减震器；

在壳体上部还安装有CDA进气口；

在两个风囊内还分别各装有一个压力传感器，所述压力传感器均与PLC连接并通讯。

2.如权利要求1所述的活塞式稳压泵，其特征在于：所述活塞为特氟龙材质。

3.如权利要求1所述的活塞式稳压泵，其特征在于：所述稳压泵工作时，活塞隔离药液与风囊,当药液中含有硅片碎片时，活塞能避免风囊被硅片碎片划伤。

4.如权利要求1所述的活塞式稳压泵，其特征在于：所述位于药液出口处的膜片减震器平衡稳压泵的输出脉冲，稳定管路中的压力。

5.如权利要求1所述的活塞式稳压泵，其特征在于：所述两个压力传感器，分别实时监测两个腔室内的CDA气源压力，当两个压力传感器的监测到的压力数值相同时，认为没有泄露；但数值不一致时，认为风囊有损坏，CDA气源有泄漏。

6.如权利要求1或5所述的活塞式稳压泵，其特征在于：所述PLC还连接一控制器，但两个压力传感器的压力数值不一致时，PLC认为发生泄露，发送报警信号给控制器，控制器停止稳压泵工作。

7.如权利要求1所述的活塞式稳压泵，其特征在于：所述的膜片减震器，当药液出口管路的压力高于标准范围值时，膜片减震器被压缩，膜片减震器内部压力大于出口管路压力，当稳压泵两个风囊切换时，活塞不能提供给出口管路压力；当出口管路压力低于标准范围值时，膜片减震器膨胀，提供给出口管路压力，使稳压泵的出口管路压力维持在标准范围。