[发明专利]活塞式稳压泵

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别是指一种活塞式稳压泵。

背景技术

化学品供给循环系统都会用到稳压泵(Pump)，而化学品有很大的危险性，化学品用Pump要求耐腐蚀，并且应当具有相应的检测泄漏的功能,以当发生泄漏时能及时得到处理。当Pump的膜片或风囊破裂时能够及时发出报警信号。

一般Pump的测漏方法：目前Pump一般利用电导(电导式)或光的折射原理(光纤式)来实现测漏功能，但这两种方法都要在漏液接触到触头时才能感应到，不能在膜片破裂的早期检测到，往往当Pump报警时化学品已经漏到了CDA管路中。而如果Pump打的是和CDA会反应的化学品，Pump如果没有及时报警，CDA管路中的空气就会窜入化学品管路中，化学品的刻蚀速率就会发生改变，这对产品会有很大的风险。

膜片式或风囊式稳压泵依靠腔体内的压缩空气推动膜片来挤压药液，当两个腔体切换时，压缩空气不能及时推动膜片，因此药液管路中就会有压力损失，管路中也会形成脉冲。风囊式Pump或隔膜式Pump工作时管路中的脉冲比较大，为了降低这种脉冲，在做化学药液配管时，一般情况下是在Pump出口加装一个可以补充压力损失，具有稳定管路压力功能的减震器(Damper)，如图1所示。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种活塞式稳压泵，使输出管路的压力保持稳定，并且发生泄露时能自动停止工作。

为解决上述问题，本发明所述的活塞式稳压泵，包含：

一壳体，壳体内有两个活塞及两个风囊(bellows)，呈水平对称分布；活塞连接风囊并做往复运动，两活塞中间为药液腔室，活塞往复运动以推动活塞前端的药液；在药液腔室中具有药液的进口及出口，在药液壳体的出口上方处还安装有膜片减震器；

在壳体上部还安装有CDA进气口；

在两个风囊内还分别各装有一个压力传感器，所述压力传感器均与PLC连接并通讯。

进一步地，所述两个风囊共用CDA气源，即CDA进气口连接两部分风囊。

进一步地，所述活塞为特氟龙材质。

进一步地，所述位于药液出口处的膜片减震器平衡稳压泵的输出脉冲，稳定管路中的压力。

进一步地，所述两个压力传感器，分别实时监测两个腔室内的CDA气源压力，当两个压力传感器的监测到的压力数值相同时，认为没有泄露；但数值不一致时，认为风囊有损坏，CDA气源有泄漏。

进一步地，所述PLC还连接一控制器，但两个压力传感器的压力数值不一致时，PLC认为发生泄露，发送报警信号给控制器，控制器停止稳压泵工作。

进一步地，所述的膜片减震器，当药液出口管路的压力高于标准范围值时，膜片减震器被压缩，膜片减震器内部压力大于出口管路压力，当稳压泵两个风囊切换时，活塞不能提供给出口管路压力；当出口管路压力低于标准范围值时，膜片减震器膨胀，提供给出口管路压力，使稳压泵的出口管路压力维持在标准范围。

本发明所述的活塞式稳压泵，通过膜片减震器稳定出口管路脉冲，将出口管路的压力稳定在标准范围内，同时通过两个压力传感器连接PLC来检测泄露，当泄露发生时能自动停止稳压泵的工作。

附图说明

图1是现有稳压泵系统工作示意图。

图2是本发明活塞式稳压泵的结构示意图。

图3是本发明活塞式稳压泵的应用示例图。

附图标记说明

1是CDA进气口，2是膜片减震器，3是活塞，4是药液入口，5是药液出口，6是压力传感器，7是风囊。

具体实施方式

本发明所述的活塞式稳压泵，如图2所示，包含：

一壳体，壳体内有两个活塞及两个风囊7，呈水平对称分布；活塞3连接风囊7并做往复运动，两活塞中间为药液腔室，特氟龙材质的活塞往复运动以推动活塞前端的药液；在药液腔室中具有药液的进口及出口，在药液的出口处还安装有膜片减震器；

在壳体上部还安装有CDA进气口1；

在两个风囊内还分别各装有一个压力传感器6，所述压力传感器均与PLC连接并通讯。所述两个风囊共用CDA气源，即CDA进气口连接两部分风囊。两个压力传感器，分别实时监测两个腔室内的CDA气源压力。